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製品紹介

高真空ゲートバルブ Series 11.1

製品情報

主な用途
  • メインチェンバー/TMP仕切り用(高真空)
特長
  • ボディ材質:ステンレス
  • ベローズ軸シール
  • DN63-200 Valucanizedシール
  • VATLOCK方式による確実なロック
仕様
リーク量バルブボディ<1・10-10Pam3s-1
バルブシート<1・10-10Pam3s-1
使用圧力範囲1・10-6Pa to 0.16MPa(abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧≦0.16MPa
バルブを開ける時の許容最大差圧≦30hPa
第1回サービスまでのサイクル数200,000
許容温度バルブボディ≦150℃
手動アクチュエータ≦80℃
圧空アクチュエータ≦80℃
電磁弁≦50℃
リミットスイッチ≦50℃
シールボンネットFKM (Viton)
ゲートFKM (Viton)
軸シールベローズ
取付方向自由
製品一覧
  • ICF114高真空ゲートバルブ (手動式)
    型式:11136-CE01

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  • ICF152高真空ゲートバルブ (手動式)
    型式:11140-CE01

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  • ICF203高真空ゲートバルブ (手動式)
    型式:11144-CE01

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  • ICF114高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:11136-CE44
  • ICF152高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:11140-CE44
  • ICF203高真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:11144-CE44

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