真空ゲートバルブ Series 12.1
メーカー名：VAT株式会社
製品情報
主な用途
メインチェンバー/TMP仕切り用(低真空)
特長
- ボディ材質：アルミニウム
- Oリング軸シール
- ２分割ボディ/メンテナンス容易
- VATLOCK方式による確実なロック
仕様
| リーク量 | バルブボディ | ＜1・10-10Pam3s-1 |
| バルブシート | ＜1・10-10Pam3s-1 | |
| 使用圧力範囲 | 1・10-5Pa to 0.16MPa(abs) | |
| プレートにかけ得る許容最大差圧 | ≦0.16MPa | |
| バルブを開ける時の許容最大差圧 | ≦30hPa | |
| 第１回サービスまでのサイクル数 | 200,000 | |
| 許容温度 | バルブボディ | ≦120℃ |
| 手動アクチュエータ | ≦80℃ | |
| 圧空アクチュエータ | ≦80℃ | |
| 電磁弁 | ≦50℃ | |
| リミットスイッチ | ≦80℃ | |
| シール | ボンネット | FKM (Viton) |
| ゲート | FKM (Viton) | |
| 軸シール | Oリング軸シール | |
| 取付方向 | 自由 | |
製品一覧
- JIS-VF65真空ゲートバルブ (手動式)
型式：12136-JA03
- JIS-VF100真空ゲートバルブ (手動式)
型式：12140-JA03
- JIS-VF150真空ゲートバルブ (手動式)
型式：12144-JA03
- JIS-VF65真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：12136-JA44
- JIS-VF100真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：12140-JA44
- JIS-VF150真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：12144-JA44