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製品紹介

真空ゲートバルブ Series 12.1

製品情報

主な用途

メインチェンバー/TMP仕切り用(低真空)

特長
  • ボディ材質:アルミニウム
  • Oリング軸シール
  • 2分割ボディ/メンテナンス容易
  • VATLOCK方式による確実なロック
仕様
リーク量バルブボディ<1・10-10Pam3s-1
バルブシート<1・10-10Pam3s-1
使用圧力範囲1・10-5Pa to 0.16MPa(abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧≦0.16MPa
バルブを開ける時の許容最大差圧≦30hPa
第1回サービスまでのサイクル数200,000
許容温度バルブボディ≦120℃
手動アクチュエータ≦80℃
圧空アクチュエータ≦80℃
電磁弁≦50℃
リミットスイッチ≦80℃
シールボンネットFKM (Viton)
ゲートFKM (Viton)
軸シールOリング軸シール
取付方向自由
製品一覧
  • JIS-VF65真空ゲートバルブ (手動式)
    型式:12136-JA03

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  • JIS-VF100真空ゲートバルブ (手動式)
    型式:12140-JA03

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  • JIS-VF150真空ゲートバルブ (手動式)
    型式:12144-JA03
  • JIS-VF65真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:12136-JA44

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  • JIS-VF100真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:12140-JA44

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  • JIS-VF150真空ゲートバルブ (圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:12144-JA44

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