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製品紹介

高真空ゲートバルブ Series 09.1

製品情報

主な用途

粗引きライン/フォアラインの仕切り用

特長
  • ボディ材質:ステンレス
  • ベローズ軸シール
  • 堆積物の多いプロセス向け
  • 0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作可能
リーク量バルブボディ<1・10-10Pam3s-1
バルブシート<1・10-8Pam3s-1
使用圧力範囲1・10-6Pa to 0.12MPa(abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧≦0.12MPa
バルブを開ける時の許容最大差圧≦0.1hPa
第1回サービスまでのサイクル数50,000
許容温度バルブボディ≦150℃
手動アクチュエータ≦100℃
圧空アクチュエータ≦100℃
電磁弁≦50℃
リミットスイッチ≦60℃
シールボンネットFKM (Viton)
ゲートFKM (Viton)
軸シールベローズ
取付方向自由
製品一覧
  • ISO-F100高真空ゲートバルブ (手動式)
    型式:09140-PE01

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  • ISO-F160高真空ゲートバルブ (手動式)
    型式:09144-PE01
  • ISO-F100高真空ゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:09140-PE44
  • ISO-F160高真空ゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:09144-PE44

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