高真空ゲートバルブ Series 09.1
メーカー名：VAT株式会社
製品情報
主な用途
粗引きライン/フォアラインの仕切り用
特長
- ボディ材質：ステンレス
- ベローズ軸シール
- 堆積物の多いプロセス向け
- 0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作可能
| リーク量 | バルブボディ | ＜1・10-10Pam3s-1 |
| バルブシート | ＜1・10-8Pam3s-1 | |
| 使用圧力範囲 | 1・10-6Pa to 0.12MPa(abs) | |
| プレートにかけ得る許容最大差圧 | ≦0.12MPa | |
| バルブを開ける時の許容最大差圧 | ≦0.1hPa | |
| 第１回サービスまでのサイクル数 | 50,000 | |
| 許容温度 | バルブボディ | ≦150℃ |
| 手動アクチュエータ | ≦100℃ | |
| 圧空アクチュエータ | ≦100℃ | |
| 電磁弁 | ≦50℃ | |
| リミットスイッチ | ≦60℃ | |
| シール | ボンネット | FKM (Viton) |
| ゲート | FKM (Viton) | |
| 軸シール | ベローズ | |
| 取付方向 | 自由 | |
製品一覧
- ISO-F100高真空ゲートバルブ (手動式)
型式：09140-PE01
- ISO-F160高真空ゲートバルブ (手動式)
型式：09144-PE01
- ISO-F100高真空ゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：09140-PE44
- ISO-F160高真空ゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：09144-PE44