ミニゲートバルブ Series 01.2
メーカー名：VAT株式会社
製品情報
主な用途
ロードロックチェンバー/メインチェンバー仕切り用
特長
- ボディ材質：アルミニウム
- Oリング軸シール
- Vulcanizedシール
- VATLOCK方式による確実なロック
仕様
| リーク量 | バルブボディ | ＜1・10-10Pam3s-1 |
| バルブシート | ＜1・10-10Pam3s-1 | |
| 使用圧力範囲 | 1・10-5Pa to 0.1MPa(abs) | |
| プレートにかけ得る許容最大差圧 | ≦0.1MPa | |
| バルブを開ける時の許容最大差圧 | ≦30hPa | |
| 第１回サービスまでのサイクル数 | 50,000 | |
| 許容温度 | バルブボディ | ≦100℃ |
| 手動アクチュエータ | ≦80℃ | |
| 圧空アクチュエータ | ≦80℃ | |
| 電磁弁 | ≦50℃ | |
| リミットスイッチ | ≦80℃ | |
| シール | ボンネット | FKM (Viton) |
| ゲート | FKM (Viton) | |
| 軸シール | Oリング軸シール | |
| 取付方向 | 自由 | |
製品一覧
- NW25ミニゲートバルブ(手動式)
型式：01228-KA06
- NW40ミニゲートバルブ(手動式)
型式：01232-KA06
- NW25ミニゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：01228-KA44
- NW40ミニゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
型式：01232-KA44