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製品紹介

ミニゲートバルブ Series 01.2

製品情報

主な用途

ロードロックチェンバー/メインチェンバー仕切り用

特長
  • ボディ材質:アルミニウム
  • Oリング軸シール
  • Vulcanizedシール
  • VATLOCK方式による確実なロック
仕様
リーク量バルブボディ<1・10-10Pam3s-1
バルブシート<1・10-10Pam3s-1
使用圧力範囲1・10-5Pa to 0.1MPa(abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧≦0.1MPa
バルブを開ける時の許容最大差圧≦30hPa
第1回サービスまでのサイクル数50,000
許容温度バルブボディ≦100℃
手動アクチュエータ≦80℃
圧空アクチュエータ≦80℃
電磁弁≦50℃
リミットスイッチ≦80℃
シールボンネットFKM (Viton)
ゲートFKM (Viton)
軸シールOリング軸シール
取付方向自由
製品一覧
  • NW25ミニゲートバルブ(手動式)
    型式:01228-KA06
  • NW40ミニゲートバルブ(手動式)
    型式:01232-KA06
  • NW25ミニゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:01228-KA44
  • NW40ミニゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:01232-KA44

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