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製品紹介

ミニUHVゲートバルブ Series 01.0

製品情報

主な用途

ロードロックチェンバー/メインチェンバー仕切り用

特長
  • ボディ材質:ステンレス
  • ベローズ軸シール
  • Vulcanizedシール
  • MONOVAT機構
仕様
リーク量バルブボディ<5・10-11Pam3s-1
バルブシート<1・10-10Pam3s-1
使用圧力範囲1・10-8Pa to 0.2MPa(abs)
プレートにかけ得る許容最大差圧≦0.2MPa
バルブを開ける時の許容最大差圧≦30hPa
第1回サービスまでのサイクル数50,000
許容温度バルブボディ≦250℃(バルブ開)、≦200℃(バルブ閉)
手動アクチュエータ≦250℃
圧空アクチュエータ≦200℃
電磁弁≦50℃
リミットスイッチ≦80℃
シールボンネットメタル
ゲートFKM (Viton)
軸シール ベローズ
取付方向自由
製品一覧
  • ICF70UHVゲートバルブ (手動式)
    型式:01032-CE01

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  • ICF70UHVゲートバルブ (手動式/borosilicate窓付き)
    型式:01032-CE01-X

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  • ICF70UHVゲートバルブ(圧空作動式/単動シリンダー/NC/電磁弁・LS付き)
    型式:01032-CE41

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  • ICF70UHVゲートバルブ(圧空作動式/複動シリンダー/電磁弁・LS付き)
    型式:01032-CE44

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