中空Zステージ ALM-275
メーカー名：株式会社エイブイシー
製品紹介
各種真空装置における真空中の直線移動が、大気側から操作できる直線移動機構です。
特長
- 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
- 中空型：内径φ39mm
- ハンドル操作が軽く、操作性が良いスタンダードモデル
- ロングストローク、モーター駆動にも対応可能
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa・m3/sec |
| 真空シール方式 | 溶接ベローズ方式 |
| 駆動方式 | ネジ式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
仕様
| 型式 | Z軸移動距離(㎜) Z軸移動精度(㎜) | A接続フランジ B移動フランジ | C (㎜) | D (㎜) | 重量 (Kg) |
| ALM-275-1/25 | 25 1 | ICF70-FH ICF70-FT | 85~110 | 179 | 3.0 |
| ALM-275-1/50 | 50 1 | 85~135 | 204 | 3.1 | |
| ALM-275-1/100 | 100 1 | 105~205 | 274 | 3.5 | |
| ALM-275-1/150 | 150 1 | 130~280 | 349 | 4.5 | |
| ALM-275-1/200 | 200 1 | 160~360 | 429 | 4.9 | |
| ALM-275-1/250 | 250 1 | 190~440 | 509 | 5.5 | |
| ALM-275-1/300 | 300 1 | 210~510 | 579 | 5.8 |