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製品紹介

中空Zステージ ALM-275

製品紹介

各種真空装置における真空中の直線移動が、大気側から操作できる直線移動機構です。

特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 中空型:内径φ39mm
  • ハンドル操作が軽く、操作性が良いスタンダードモデル
  • ロングストローク、モーター駆動にも対応可能
許容リーク量≦1.33×10-11Pa・m3/sec
真空シール方式溶接ベローズ方式
駆動方式ネジ式
許容加熱温度≦200℃
仕様
型式Z軸移動距離(㎜)
Z軸移動精度(㎜)
A接続フランジ
B移動フランジ
C
(㎜)
D
(㎜)
重量
(Kg)
ALM-275-1/2525㎜
1㎜
ICF70-FH
ICF70-FT
85~1101793
ALM-275-1/5050㎜
1㎜
85~1352043.1
ALM-275-1/100100㎜
1㎜
105~2052743.5
ALM-275-1/150150㎜
1㎜
130~2803494.5
ALM-275-1/200200㎜
1㎜
160~3604294.9
ALM-275-1/250250㎜
1㎜
190~4405095.5
ALM-275-1/300300㎜
1㎜
210~5105795.8

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