直線導入機 株式会社アールデックで取り扱っている製品詳細ページになります。

製品情報

概要

真空中に取り付けた機器の直線運動の導入に用い、圧力が10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用できます。

特長

• オールメタルなのでハードベークが可能で、超高真空系に最適
• 真空側と大気側とを、ベローズで完全に遮断したベローズ式直線導入機
• ベローズの伸縮を利用し真空内に直線運動を導入するため、操作中でのリークの心配不要

仕様

型　名	名　称	駆動方式	接続フランジ	直線運動量	許容最大推力	許容加熱温度	重量
954-7621	直線導入機	ベローズ直線運動	φ70ICF	20mm	196N	300℃	0.6kg
954-7622		↑	φ70ICF	40mm	196N	300℃	0.7kg
954-7623	ミニ直線導入機	↑	φ34ICF	20mm	147N	300℃	0.48kg
954-7626		↑	φ34ICF	25mm	147N	200℃	0.9kg
954-7627		↑	φ34ICF	40mm	147N	200℃	1.1kg

※その他共通仕様
　リーク量：1.3×10^-11Pa・m³/sec以下

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