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製品紹介

直線導入機

製品情報

概要

真空中に取り付けた機器の直線運動の導入に用い、圧力が10-8Pa以下の超高真空領域まで使用できます。

特長
  • オールメタルなのでハードベークが可能で、超高真空系に最適
  • 真空側と大気側とを、ベローズで完全に遮断したベローズ式直線導入機
  • ベローズの伸縮を利用し真空内に直線運動を導入するため、操作中でのリークの心配不要
仕様
型 名名 称駆動方式接続フランジ直線運動量許容最大推力許容加熱温度重量
954-7621直線導入機ベローズ直線運動φ70ICF20mm196N300℃0.6kg
954-7622 φ70ICF 40mm 196N 300℃0.7kg
954-7623ミニ直線導入機φ34ICF20mm147N300℃0.48kg
954-7626φ34ICF25mm147N200℃0.9kg
954-7627φ34ICF40mm 147N 200℃1.1kg

※その他共通仕様
 リーク量:1.3×10-11Pa・m3/sec以下

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