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製品紹介

ラック&ピニオンフィードスルー ALP

製品情報

各種真空装置における超高真空中での試料のイントロダクション及び試料搬送が大気側から操作できます。

特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • ラック&ピニオン駆動方式を採用
  • 第2軸の増設も可能

※2軸増設時のZ軸移動距離はMAXで800mmまでになります。

許容リーク量≦1.33×10-11Pa・m3/sec
真空シール方式溶接ベローズ方式
駆動方式ラック&ピニオン方式
許容加熱温度≦200℃
仕様
型式Z軸移動距離
(㎜)
A接続フランジ
B接続フランジ
C
(㎜)
移動軸径
(㎜)
重量
(Kg)
ALP-275/800800ICF70-FH
ICF34-FT
980Φ8(g6)8.9
ALP-275/1000100011809.6
ALP-275/12001200138010.3

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