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製品紹介

マグネットフィードスルー AMF-133

製品情報

各種真空装置における超高真空中での試料のイントロダクション及び試料搬送が大気側から操作できます。

特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • マグネットカップリング方式を採用
  • 回転防止機構(AMF-RL)オプション
許容リーク量≦1.33×10-11Pa・m3/sec
駆動方式マグネットカップリング方式
許容加熱温度≦200℃
直進力60N
回転トルク0.35Nm
仕様
型式Z軸移動距離
(㎜)
A接続フランジ移動軸径
(㎜)
C
(㎜)
重量
(Kg)
AMF-133/100100ICF34-FHΦ8(g6)
※接続部Φ6
2861
AMF-133/150150336
AMF-133/2002003862.1
AMF-133/250250436
AMF-133/300300486
AMF-133/4004005862.2

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