マグネットフィードスルー AMF-133
メーカー名：株式会社エイブイシー
製品情報
各種真空装置における超高真空中での試料のイントロダクション及び試料搬送が大気側から操作できます。
特長
- 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
- マグネットカップリング方式を採用
- 回転防止機構(AMF-RL)オプション
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa・m3/sec |
| 駆動方式 | マグネットカップリング方式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
| 直進力 | 60N |
| 回転トルク | 0.35Nm |
仕様
| 型式 | Z軸移動距離 (㎜) | A接続フランジ | 移動軸径 (㎜) | C (㎜) | 重量 (Kg) |
| AMF-133-1/100 | 100 | ICF34-FH | Φ8(g6) ※接続部はΦ6 | 286 | 1 |
| AMF-133-1/150 | 150 | 336 | |||
| AMF-133-1/200 | 200 | 386 | 1.1 | ||
| AMF-133-1/250 | 250 | 436 | |||
| AMF-133-1/300 | 300 | 486 | |||
| AMF-133-1/400 | 400 | 586 | 1.2 |