ウォームギヤ回転導入機 AWG
メーカー名:株式会社エイブイシー
製品情報
各種真空装置における真空中の回転運動が、大気側から操作できる回転導入機構です。
特長
- 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
- ウォームホイール&ギヤ駆動方式
- 中空軸により多軸導入に応用可能
- 回転軸寸法/形状の指定可能
許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa・m3/sec |
駆動方式 | マグネットカップリング方式 |
許容加熱温度 | ≦200℃ |
仕様
型式 | A接続フランジ B接続フランジ | C (㎜) | 減速比 | 重量 (Kg) |
AWG-275 | ICF70-FH ICF34-FT | ご指定長 | 1/30 | 3.6 |