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製品紹介

ウォームギヤ回転導入機 AWG

製品情報

各種真空装置における真空中の回転運動が、大気側から操作できる回転導入機構です。

特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • ウォームホイール&ギヤ駆動方式
  • 中空軸により多軸導入に応用可能
  • 回転軸寸法/形状の指定可能
許容リーク量≦1.33×10-11Pa・m3/sec
駆動方式マグネットカップリング方式
許容加熱温度≦200℃
仕様
型式A接続フランジ
B接続フランジ
C
(㎜)
減速比重量
(Kg)
AWG-275ICF70-FH
ICF34-FT
ご指定長1/303.6

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