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製品紹介

中空回転導入機 ARMW

製品情報

各種真空装置における真空中の回転運動が大気側から操作できる回転導入機構です。

特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • マグネットカップリング方式を採用
  • 回転トルク:1.7Nm
  • 中空軸により多軸導入に応用可能
  • 回転中空軸の寸法/形状指定が可能
  • モーター駆動にも対応可能
  • 分解能:0.1°(手動ハンドルオプションの場合)
  • 回転軸寸法指定可能
許容リーク量≦1.33×10-11Pa・m3/sec
駆動方式マグネットカップリング方式
許容加熱温度≦200℃
仕様
型式A接続フランジ
B接続フランジ
C
(㎜)
回転トルク(Nm)重量
(Kg)
ARMW-275/133/S1ICF70-FH
ICF34-FT
1001.72.4

※写真は手動ハンドルオプション付

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