中空Zステージ ALMS
製品情報
各種真空装置における真空中の直線移動が、大気側から操作できる直線移動機構です。
特長
- 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
- 中空型：内径Φ39㎜
- 分解能：0.1㎜
- 取付場所を選ばないコンパクト設計
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa・m3/sec |
| 真空シール方式 | 溶接ベローズ方式 |
| 駆動方式 | ネジ式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
仕様
| 型式 | Z軸移動距離(㎜) Z軸移動精度(㎜) | A接続フランジ B移動フランジ | C (㎜) | D (㎜) | E (㎜) | 重量 (Kg) |
| ALMS-275-1/25 | 25 0.1 | ICF70-FH ICF70-FT | 85~110 | 157~182 | 136 | 2.3 |
| ALMS-275-1/50 | 50 0.1 | 85~135 | 182~232 | 2.5 | ||
| ALMS-275-1/75 | 75 0.1 | 90~165 | 202~277 | 2.5 | ||
| ALMS-275-1/100 | 100 0.1 | 105~205 | 232~332 | 3 | ||
| ALMS-275-1/150 | 150 0.1 | 120~270 | 282~432 | 3.5 | ||
| ALMS-4/275-1/25 | 25 0.1 | ICF114-FH ICF70-FT | 85~110 | 157~182 | 180 | 3.3 |
| ALMS-4/275-1/50 | 50 0.1 | 85~135 | 182~232 | 3.5 | ||
| ALMS-4/275-1/75 | 75 0.1 | 90~165 | 202~277 | 3.7 | ||
| ALMS-4/275-1/100 | 100 0.1 | 105~205 | 232~332 | 4 | ||
| ALMS-4/275-1/150 | 150 0.1 | 120~270 | 282~432 | 4.5 |