Products

製品紹介

中空Zステージ ALMS

製品情報

各種真空装置における真空中の直線移動が、大気側から操作できる直線移動機構です。

特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 中空型:内径Φ39㎜
  • 分解能:0.1㎜
  • 取付場所を選ばないコンパクト設計
許容リーク量≦1.33×10-11Pa・m3/sec
真空シール方式溶接ベローズ方式
駆動方式ネジ式
許容加熱温度≦200℃
仕様
型式Z軸移動距離(㎜)
Z軸移動精度(㎜)
A接続フランジ
B移動フランジ
C
(㎜)
D
(㎜)
E
(㎜)
重量
(Kg)
ALMS-275-1/2525
0.1
ICF70-FH
ICF70-FT
85~110157~1821362.3
ALMS-275-1/5050
0.1
85~135182~2322.5
ALMS-275-1/7575
0.1
90~165202~2772.5
ALMS-275-1/100100
0.1
105~205232~3323
ALMS-275-1/150150
0.1
120~270282~4323.5
ALMS-4/275-1/2525
0.1
ICF114-FH
ICF70-FT
85~110157~1821803.3
ALMS-4/275-1/5050
0.1
85~135182~2323.5
ALMS-4/275-1/7575
0.1
90~165202~2773.7
ALMS-4/275-1/100100
0.1
105~205232~3324
ALMS-4/275-1/150150
0.1
120~270282~4324.5

PAGETOP