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製品紹介

中空Zステージ ALM4

製品情報

各種真空装置における真空中の直線移動が、大気側から操作できる直線移動機構です。

特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 中空型:内径Φ70㎜
  • ハンドル操作が軽く、操作性が良いスタンダードモデル
  • ロングストローク、モーター駆動にも対応可能
許容リーク量≦1.33×10-11Pa・m3/sec
真空シール方式溶接ベローズ方式
駆動方式ネジ式
許容加熱温度≦200℃
仕様
型式Z軸移動距離(㎜)
Z軸移動精度(㎜)
A接続フランジ
B移動フランジ
C
(㎜)
D
(㎜)
重量
(Kg)
ALM-4/5050
1
ICF114-FH
ICF114-FT
150~20022210
ALM-4/100100
1
160~26028212
ALM-4/150150
1
185~33535714
ALM-4/200200
1
220~42044216
ALM-4/300300
1
227~52754918
ALM-4/400400
1
245~64566722
ALM-4/500500
1
300~80082225

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