直線導入機 ALMR
メーカー名：株式会社エイブイシー
各種真空装置における真空中の直線移動が大気側から操作できる直線移動機構です。
特長
- 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
- 中実型：軸径Φ6㎜(g6)
- 直進力：120N
- 分解能：0.01㎜
- モーター駆動にも対応可能
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa・m3/sec |
| 真空シール方式 | 溶接ベローズ方式 |
| 駆動方式 | ネジ式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
| 直進力 | 120N |
仕様
| 型式 | Z軸移動距離(㎜) Z軸移動精度(㎜) | A接続フランジ | 移動軸径 (㎜) | C (㎜) | D (㎜) | 重量 (Kg) |
| ALMR-133/10 | 10 0.01 | ICF34-FH | Φ6 (g6) | 130.5 | 50~60 | 0.7 |
| ALMR-133/20 | 20 0.01 | 153.5 | 50~70 | 0.8 | ||
| ALMR-133/50 | 50 0.01 | 213.5 | 50~100 | 0.9 | ||
| ALMR-275/10 | 10 0.01 | ICF70-FH | 130.5 | 50~60 | 1 | |
| ALMR-275/20 | 20 0.01 | 153.5 | 50~70 | 1 | ||
| ALMR-275/50 | 50 0.01 | 213.5 | 50~100 | 1.4 |