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製品紹介

直線導入機 ALMR

各種真空装置における真空中の直線移動が大気側から操作できる直線移動機構です。

特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • 中実型:軸径Φ6(g6)
  • 直進力:120N
  • 分解能:0.01㎜
  • モーター駆動にも対応可能
許容リーク量≦1.33×10-11Pa・m3/sec
真空シール方式溶接ベローズ方式
駆動方式ネジ式
許容加熱温度≦200℃
直進力120N
仕様
型式Z軸移動距離(㎜)
Z軸移動精度(㎜)
A接続フランジ移動軸径
(㎜)
C
(㎜)
D
(㎜)
重量
(Kg)
ALMR-133/1010
0.01
ICF34-FHΦ6(g6)130.550~600.7
ALMR-133/2020
0.01
153.550~700.8
ALMR-133/5050
0.01
213.550~1000.9
ALMR-275/1010
0.01
ICF70-FH130.550~601
ALMR-275/2020
0.01
153.550~701
ALMR-275/5050
0.01
213.550~1001.4

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