回転導入機 磁気結合型 /ベローズ式
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い、圧力が10-8Pa以下の超真空領域まで使用することが可能な回転導入機です。磁気結合型回転導入機とベローズ式回転導入機があります。
特長
- 大きな伝達トルク
3kg・cmから最高100kg・cmの高トルクタイプのものまで各種ご用途に応じて選択可 - ベークアウト可能
真空ブレージング接合を採用し、エラストマーシールは一切使用しておりませんので、超高真空系に最適 - モータ駆動可能
手動とモータの2つの駆動方式が可能（954-7630は手動駆動のみ）
仕様
■磁気結合型回転導入機
| 型 名 | 954-7603 | 954-7604 | 954-7605 | 954-7606 | 954-7607 | |
| 駆動方式 | 磁気結合 | |||||
| 接続フランジ | φ34ICF | φ70ICF | ||||
| 駆動軸径 | φ6 | φ8 | φ12 | |||
| 駆動方式 | 手動及びモータ駆動 | |||||
| 伝達トルク | 手動 | 0.5N・m | 1.6N・m | 5.9N・m | 9.8N・m | |
| モータ駆動 | 0.44N・m | 1.42N・m | 5.3N・m | 8.8N・m | ||
| 許容回転数 | 500RPM | |||||
| 許容加熱温度 | 200℃* | 200℃** | 200℃*** | |||
| リーク量 | 1.3×10-11Pa・m3/sec 以下 | |||||
| 質量 | 0.72kg | 2.6kg | 2.5kg | |||
※アウターロータ取除いた場合、*300℃、**150℃、***400℃となります。
※また、加熱時は駆動しないでください。
■ベローズ式回転導入機
| 型 名 | 954-7620 | 954-7630 | 954-7640 | |
| 駆動方式 | ベローズ式 | |||
| 接続フランジ | φ70ICF | φ34ICF | ||
| 駆動軸径 | φ8 | φ6 | ||
| 駆動方法 | 手動及びモータ駆動 | 手動 | 手動及びモータ駆動 | |
| 伝達トルク | 手動 | 2N・m | 0.3N・m | 1N・m |
| モータ駆動 | 1.2N・m | — | 0.6N・m | |
| 許容回転数 | モータ100rpm | — | モータ200rpm | |
| 許容加熱温度※ | 200℃ | |||
| リーク量 | 1.3×10-11Pa・m3/sec 以下 | |||
| 使用材料 | 本 体：SUS-304 ベローズ：SUS-304 | |||
| 質量 | 1.15kg | 0.33kg | 0.74kg | |
※加熱時は駆動しないでください。