Products

製品紹介

回転導入機 磁気結合型 /ベローズ式

製品情報

概要

真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い、圧力が10-8Pa以下の超真空領域まで使用することが可能な回転導入機です。磁気結合型回転導入機とベローズ式回転導入機があります。

特長
  • 大きな伝達トルク
    3kg・cmから最高100kg・cmの高トルクタイプのものまで各種ご用途に応じて選択可
  • ベークアウト可能
    真空ブレージング接合を採用し、エラストマーシールは一切使用しておりませんので、超高真空系に最適
  • モータ駆動可能
    手動とモータの2つの駆動方式が可能(954-7630は手動駆動のみ)
仕様
■磁気結合型回転導入機
型 名954-7603954-7604954-7605954-7606954-7607
駆動方式磁気結合
接続フランジφ34ICFφ70ICF
駆動軸径φ6φ8φ12
駆動方式手動及びモータ駆動
伝達トルク手動0.5N・m1.6N・m5.9N・m9.8N・m
モータ駆動0.44N・m1.42N・m5.3N・m8.8N・m
許容回転数500RPM
許容加熱温度200℃*200℃**200℃***
リーク量1.3×10-11Pa・m3/sec 以下
質量0.72kg2.6kg2.5kg

※アウターロータ取除いた場合、*300℃、**150℃、***400℃となります。
※また、加熱時は駆動しないでください。

■ベローズ式回転導入機
型 名954-7620954-7630954-7640
駆動方式ベローズ式
接続フランジφ70ICFφ34ICF
駆動軸径φ8 φ6
駆動方法手動及びモータ駆動手動手動及びモータ駆動
伝達トルク手動2N・m0.3N・m1N・m
モータ駆動1.2N・m0.6N・m
許容回転数モータ100rpmモータ200rpm
許容加熱温度200℃
リーク量1.3×10-11Pa・m3/sec 以下
使用材料本  体:SUS-304
ベローズ:SUS-304
質量1.15kg0.33kg0.74kg

※加熱時は駆動しないでください。

磁気結合型回転導入機をオンラインショップで見る

ベローズ式回転導入機をオンラインショップで見る

PAGETOP