回転導入機 ARM
製品情報
各種真空装置における真空中の回転運動が、大気側から操作できる回転導入機構です。
特長
- 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
- マグネットカップリング方式を採用
- 真空側軸受には長寿命なドライ潤滑ベアリングを採用
- ストッパーにより任意の角度設定が可能
| 許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa・m3/sec |
| 駆動方式 | マグネットカップリング方式 |
| 許容加熱温度 | ≦200℃ |
仕様
| 型式 | A接続フランジ | 移動軸径 (㎜) | C (㎜) | D (㎜) | E (㎜) | 回転トルク(Nm) | 重量 (Kg) |
| ARM-133 | ICF34-FH | Φ6(6g) | 104.5 | 50 | Φ39 | 0.1 | 0.3 |
| ARMH-133 | 0.4 | ||||||
| ARM-275 | ICF70-FH | Φ8(6g) | 151.5 | Φ65 | 1.7 | 2.4 |