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製品紹介

回転導入機 ARM

製品情報

各種真空装置における真空中の回転運動が、大気側から操作できる回転導入機構です。

特長
  • 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
  • マグネットカップリング方式を採用
  • 真空側軸受には長寿命なドライ潤滑ベアリングを採用
  • ストッパーにより任意の角度設定が可能
許容リーク量≦1.33×10-11Pa・m3/sec
駆動方式マグネットカップリング方式
許容加熱温度≦200℃
仕様
型式A接続フランジ移動軸径
(㎜)
C
(㎜)
D
(㎜)
E
(㎜)
回転トルク(Nm)重量
(Kg)
ARM-133ICF34-FHΦ6(6g)104.550Φ390.10.3
ARMH-1330.4
ARM-275ICF70-FHΦ8(6g)151.5Φ651.72.4

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