回転導入機 ARM
メーカー名:株式会社エイブイシー
製品情報
各種真空装置における真空中の回転運動が、大気側から操作できる回転導入機構です。
特長
- 圧力10-8Pa以下の超高真空領域対応
- マグネットカップリング方式を採用
- 真空側軸受けには長寿命なドライ潤滑ベアリングを採用
- ストッパーにより任意の角度設定が可能
- ハンドルにカウンタを内蔵し、位置及び移動量の判断が容易なモデルもあります
許容リーク量 | ≦1.33×10-11Pa・m3/sec |
駆動方式 | マグネットカップリング方式 |
許容加熱温度 | ≦200℃ |
カウンタ付(-CT) | 1回転2カウント(半回転で1カウント) |
仕様
型 式 | A接続フランジ | 移動軸径 (mm) | C (mm) | D (mm) | E (mm) | 回転トルク(Nm) | 重量 (Kg) |
ARM-133 | ICF34-FH | Ø6(g6) | 104.5 | 50 | Ø39 | 0.1 | 0.3 |
ARMH-133 | 0.4 | ||||||
ARM-275 | ICF70-FH | Ø8(g6) | 151.5 | Ø65 | 1.7 | 2.4 | |
ARM-133CT | ICF34-FH | Ø6(g6) | 132 | Ø48 | 0.1 | 0.8 | |
ARMH-133CT | 0.4 |