コンビネーションポンプ
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
コンビネーションポンプでは、チタンサブリメーションポンプと三極型イオンポンプ（ノーブルポンプ）を組み合わせることで、イオンポンプの有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、大排気速度を安い価格で得られます。
特長
- 大排気速度
排気速度1L/sあたりの価格（制御装置の価格も含む）は、イオンポンプに比べて約1/2～1/3 - 軽量でコンパクト
同じ排気速度を持つイオンポンプに比べ、体積・重量は1/5～1/10です。したがって、被排気系への取付け、取外しが簡単に行え、小さなスペースで大排気速度が得られます
用途
蒸着装置、電子顕微鏡、質量分析装置、真空炉、各種分析装置、実験装置、排気装置、その他ガス放出の多い超高真空計に、ご使用になれます。
仕様
■400L/s コンビネーションポンプ
| 型番 | 913-7000 |
| 使用圧力範囲 | 10-1Pa～10-9Pa |
| ベーキング温度 | Max250℃ |
| 質量 | 約15kg |
| 吸気口フランジ | φ152ICFフランジ |
| 内容積 | 4.5L |
| 適用制御装置 | 922-9119サブリメーションポンプ制御装置および PIC-052NP 20/60L/sノーブルポンプ 制御装置 |
■800L/s コンビネーションポンプ
| 型番 | 913-7001 |
| 使用圧力範囲 | 10-1Pa～10-9Pa |
| ベーキング温度 | Max250℃ |
| 質量 | 約25kg |
| 吸気口フランジ | φ203ICFフランジ |
| 内容積 | 約7.5L |
| 適用制御装置 | 922-9119サブリメーションポンプ制御装置および PIC-052NP 20/60L/sノーブルポンプ 制御装置 |
■1600L/s コンビネーションポンプ
| 型番 | 913-7002 |
| 使用圧力範囲 | 10-1Pa～10-9Pa |
| ベーキング温度 | Max250℃ |
| 質量 | 約35kg |
| 吸気口フランジ | φ253ICFフランジ |
| 内容積 | 約 15.5L |
| 適用制御装置 | 922-9119サブリメーションポンプ制御装置および PIC-052NP 20/60L/sノーブルポンプ 制御装置 |