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製品紹介

チタンサブリメーションポンプ/タイバックポンプ

製品情報

概要

チタンサブリメーションポンプおよびタイバックポンプは、チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。

特長
  • オイルフリーの超高真空
    イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現
  • 経済的
    イオンポンプ、ターボモレキュラポンプ、クライオポンプと併用しますと、排気速度、および到達圧力を著しく向上することができますから、大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極めて経済的
  • コンパクト設計
    小型軽量で取付場所を選びません
用途

お手持ちの真空ポンプ(イオンポンプ、クライオポンプ、ターボモレキュラポンプ等)排気系の排気時間の短縮、到達圧力の向上、排気量の増加を図りたい場合に効果的

仕様
名 称チタンサブリメーションポンプタイバックポンプ
型名956-7015956-7040
動作圧力3Pa以下
有効チタン量約1g/1本約15g
フィラメント数3本
チタン蒸発量平均0.07g/H (1本)
45A通電時
平均0.35g/H
48A通電時
使用フランジφ70ICF フランジ
質量約580g約680g
名 称サブリメーションポンプ制御装置
型名922-9119
入力AC200±20V 1φ2A 50/60Hz
出力電圧:2.8~10.8V、AC(無負荷にて)
   スライダックにより可変
電流:最大 50A
電力:最大430W
制御方法2つの独立タイマーによる蒸発・予熱制御
 蒸発時出力電圧:スライダックにより可変
 予熱時出力電圧:約3.8Vに固定
 タイマー設定:蒸発時間、予熱時間とも0および        1〜10分の間で設定可
 動作:蒸発→予熱→OFF
    (繰り返し動作はありません)
質量約20.5kg
入力ケーブル器外長さ 約2m
出力ケーブル長さ 2m

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