チタンサブリメーションポンプ/タイバックポンプ
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
チタンサブリメーションポンプおよびタイバックポンプは、チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜（ゲッター面）を作り、金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。
特長
- オイルフリーの超高真空
イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現 - 経済的
イオンポンプ、ターボモレキュラポンプ、クライオポンプと併用しますと、排気速度、および到達圧力を著しく向上することができますから、大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極めて経済的 - コンパクト設計
小型軽量で取付場所を選びません
用途
お手持ちの真空ポンプ（イオンポンプ、クライオポンプ、ターボモレキュラポンプ等）排気系の排気時間の短縮、到達圧力の向上、排気量の増加を図りたい場合に効果的
仕様
| 名 称 | チタンサブリメーションポンプ | タイバックポンプ |
| 型名 | 956-7015 | 956-7040 |
| 動作圧力 | 3Pa以下 | |
| 有効チタン量 | 約1g/1本 | 約15g |
| フィラメント数 | 3本 | ー |
| チタン蒸発量 | 平均0.07g/H (1本) 45A通電時 | 平均0.35g/H 48A通電時 |
| 使用フランジ | φ70ICF フランジ | |
| 質量 | 約580g | 約680g |
| 名 称 | サブリメーションポンプ制御装置 |
| 型名 | 922-9119 |
| 入力 | AC200±20V 1φ2A 50/60Hz |
| 出力 | 電圧：2.8～10.8V、AC(無負荷にて) スライダックにより可変 電流：最大 50A 電力：最大430W |
| 制御方法 | 2つの独立タイマーによる蒸発・予熱制御 蒸発時出力電圧：スライダックにより可変 予熱時出力電圧：約3.8Vに固定 タイマー設定：蒸発時間、予熱時間とも0および 1〜10分の間で設定可 動作：蒸発→予熱→OFF （繰り返し動作はありません） |
| 質量 | 約20.5kg |
| 入力ケーブル | 器外長さ 約2m |
| 出力ケーブル | 長さ 2m |