コンパクト型ガス分析システム Dシリーズ
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
四重極型質量分析計の応用技術製品です。各種ガス分析、研究開発分野において最適なガス分析システムです。
用途に合わせて、四重極型質量分析計にTMP排気系とオプションの組み合わせができるフレキシブルな構成となっております。
特長
- カスタマイズシステム
・用途に合わせて、四重極型質量分析計、ガス導入系、その他オプションを組み合わせシステムアップ可能
・分析計はM-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM、M-401QA-M(高感度/高速)の5機種より選択可能 - 小型、省スペース
・小型架台に四重極型質量分析計、TMP排気系を搭載したコンパクトな構造 - 容易な操作性
・パソコン制御による容易な測定が可能
用途
- 真空装置残留ガス分析
- 熱天秤放出ガス分析
- 昇温脱離ガス分析
- 炉内ガス分析、モニタリング
真空熱処理炉、真空浸炭炉、真空浸窒炉、金属溶解炉、バイオガス化炉、
電子ビーム式溶解炉（EB炉）、ウエハ引上炉 など - 密封ガス分析 等
仕様
| 型式 | M-101GA-DF | M-101GA-DM | M-201GA-DM | M-401GA-DM | |
| 分析計 | M-101QA-TDF | M-101QA-TDM | M-201QA-TDM | M-401QA-M | |
| 測定質量数 | 1～100a.m.u. | 1～200a.m.u. | 1～410a.m.u. | ||
| 検出感度 | 100ppm | 10ppm | |||
| 到達圧力 | 5×10-6Pa 以下 | ||||
| 導入可能ガス圧力 サンプルガス圧力 | LVL | ＜ 大気圧 | |||
| キャピラリ導入系 | 大気圧〜 | ||||
| SS-1M | ＜ 3Pa | ||||
| ソフト機能 | 多重イオン検出モード、分圧測定モード、マスピークモード、リークテストモード | ||||
| 動作環境 | 詳細はお問い合せ下さい | ||||
| 用力 | 電源 | AC100V 2.0kVA | |||
| N2ガス | 0.5MPa (N2パージが必要な場合ご用意下さい) | ||||
| 接続フランジ | φ70ICF | φ114ICF | |||
寸法図
