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製品紹介

コンパクト型ガス分析システム Cシリーズ

製品情報

概要

「コンパクト型ガス分析システム Cシリーズ」はキヤノンアネルバの長年の多岐にわたるガス分析への対応実績によって培われたガス分析に関するノウハウを生かして、多様なガス分析のご用途への対応をはかりながら、シンプル&コンパクトにまとめたガス分析システムです。すでにマスフィルタを所有されている場合は、後付けのガス分析用排気ユニットとして、分析管の無い構成でもご注文いただけます。

特長
  • フレキシブルにカスタマイズが可能
    基本構成(排気系+マスフィルタ)を選択、さらに各種ご用途を想定し、あらかじめ設定されている推奨オプション類を選択・付加することによって、お客様のご用途に最適なシステム構成とすることが可能です。
  • 省スペース
    W480mm×D500mmの省スペースに設置が可能です。
  • 簡単操作
    シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備し、安心してご使用いただけます。
用途

研究開発用途ガス測定

  • 炉内ガス分析、モニタリング
    真空熱処理炉、真空浸炭炉、真空浸窒炉、金属溶解炉、バイオガス化炉、
    電子ビーム式溶解炉(EB炉)、ウエハ引上炉 など
  • 昇温脱離ガス分析
  • 触媒反応ガス分析

プロセス装置用途ガス分析

  • 真空装置のプロセスガス測定
  • 真空装置の残留ガス測定/リーク検出
仕様
■基本仕様
型名M-070GA-CRFYM-101GA-CRFYM-101GA-CRMYM-201GA-CRMY
四重極分析計M-070QA-TDFM-101QA-TDFM-101QA-TDMM-201QA-TDM
質量数範囲m/z=1~70m/z=1~100m/z=1~200
検出感度100PPM10PPM
到達圧力1×10-5Pa以下
ソフト機能QUADVISION2 Win7
電源AC100V 1.0KVA
■基本構成品一覧
排気系
(2種類)
M-001GA-CR
(RP仕様)
M-001GA-CD
(ドライポンプ仕様)
四重極質量分析計
(7種類)
M-070QA-TDFM-101QA-TDF(Y)M-101QA-TDM(Y)M-201QA-TDF(Y)
M-101QA-TDF(W)M-101QA-TDM(W)M-201QA-TDF(W)
外形寸法図

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