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製品紹介

四重極型質量分析計 M−070QA-TDF, M-101QA-TDF, M-101/201QA-TDM

製品情報

概要

M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDMは高感度・高機能で低ガス放出を実現したPC制御専用の四重極型質量分析計です。
M-070QA-TDFは各種真空装置の残留ガスモニタに最適な、低価格版です。

特長
  • 高感度
    ・検出器に2次電子増倍管を使用(M-101/201QA-TDM)
  • 低ガス放出分析管
    ・低ガス放出のイオン源を採用
    ・デガス機能有り(※1)
  • 優れた基本性能―高度な分析に対応―
    ・イオン化電圧、エミッション電流の細かい設定が可能(※1)
    ・広いダイナミックレンジ

※1:M-070QA-TDFは対象外

用途
  • 残留ガスモニタ、加速器等の真空モニタ、無機ガス分析、昇温脱離ガス分析、等
仕様
機種名標準モデル高感度モデル
M-070QA-TDFM-101QA-TDFM-101QA-TDMM-201QA-TDM



測定質量数範囲1~70m/z1~100m/z1~100m/z1~200m/z
分解能M/ΔM≧2M
感度
(N2
FC1.5×10-6A/Pa
以上
7.0×10-6A/Pa
以上
SEM2.5A/Pa以上1.8A/Pa以上
最小検知分圧6.7×10-9Pa
以下
5.0×10-10Pa
以下
1.0×10-12Pa
以下
1.0×10-12Pa
以下
動作圧力1.3×10-2Pa以下
ダイナミック
レンジ
6桁7桁

検出器FC
EM
イオン源カゴ型カゴ型(オプション:箱型※1
フィラメントイットリアコート
イリジウム
2本
イットリアコートイリジウム2本
オプション:タングステン*1
ベーク温度250℃(分析管のみ)
デガス機能エレクトロンボンバード
接続フランジφ70ICF
定格入力電圧AC100V~AC240V
最大消費電力60W90W
質量分析管1.5kg1.4kg1.6kg
コントローラ2.1kg2.2kg
通信インターフェイスRS-232C/485
標準ソフトQUADVISION3
対応CEマーキング、RoHS

*1)オプションに関する仕様は別途お問い合わせ下さい。

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