四重極型質量分析計 M−070QA-TDF, M-101QA-TDF, M-101/201QA-TDM
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDMは高感度・高機能で低ガス放出を実現したPC制御専用の四重極型質量分析計です。
M-070QA-TDFは各種真空装置の残留ガスモニタに最適な、低価格版です。
特長
- 高感度
・検出器に2次電子増倍管を使用（M-101/201QA-TDM） - 低ガス放出分析管
・低ガス放出のイオン源を採用
・デガス機能有り（※1） - 優れた基本性能―高度な分析に対応―
・イオン化電圧、エミッション電流の細かい設定が可能（※1）
・広いダイナミックレンジ
※１：M-070QA-TDFは対象外
用途
- 残留ガスモニタ、加速器等の真空モニタ、無機ガス分析、昇温脱離ガス分析、等
仕様
| 機種名 | 標準モデル | 高感度モデル | ||||
| M-070QA-TDF | M-101QA-TDF | M-101QA-TDM | M-201QA-TDM | |||
| 基 本 性 能 | 測定質量数範囲 | 1～70m/z | 1～100m/z | 1～100m/z | 1～200m/z | |
| 分解能 | M/ΔM≧2M | |||||
| 感度 （N2） | FC | 1.5×10-6A/Pa 以上 | 7.0×10-6A/Pa 以上 | － | － | |
| SEM | － | 2.5A/Pa以上 | 1.8A/Pa以上 | |||
| 最小検知分圧 | 6.7×10-9Pa 以下 | 5.0×10-10Pa 以下 | 1.0×10-12Pa 以下 | 1.0×10-12Pa 以下 | ||
| 動作圧力 | 1.3×10－2Pa以下 | |||||
| ダイナミック レンジ | 6桁 | 7桁 | ||||
| 仕 様 | 検出器 | FC | ○ | ○ | ○ | ○ |
| EM | － | ○ | ○ | |||
| イオン源 | カゴ型 | カゴ型（オプション:箱型※1） | ||||
| フィラメント | イットリアコート イリジウム 2本 | イットリアコートイリジウム2本 オプション:タングステン*1 | ||||
| ベーク温度 | 250℃（分析管のみ） | |||||
| デガス機能 | － | エレクトロンボンバード | ||||
| 接続フランジ | φ70ICF | |||||
| 定格入力電圧 | AC100V～AC240V | |||||
| 最大消費電力 | 60W | 90W | ||||
| 質量 | 分析管 | 1.5kg | 1.4kg | 1.6kg | ||
| コントローラ | 2.1kg | 2.2kg | ||||
| 通信インターフェイス | RS-232C/485 | |||||
| 標準ソフト | QUADVISION3 | |||||
| 対応 | CEマーキング、RoHS | |||||
*1）オプションに関する仕様は別途お問い合わせ下さい。