四重極型質量分析計(高速測定/高感度測定) M−401QA-MU/G
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
質量数１～410m/zまで測定が可能な高性能・高機能の四重極型質量分析計です。
M-401QA-MGSY/MUSYは、汎用型質量分析計として、10倍の高速測定を実現しました。
特長
- 高速測定対応（M-401QA-MGSY/MUSY）
M/e＝1～400m/zを1秒間隔でデータ取得 - 2種類のイオン源
UHV型（かご型）、ガス導入型（箱型）の選択が可能 - 高感度（M-401QA-MGHY/MUHY）
8桁のダイナミックレンジ - 低ガス放出分析管
低ガス放出のイオン源を採用、デガス機能有り
用途
- 加速器真空ガスモニタ
- 無機ガス分析
- 熱天秤放出ガス分析
- 昇温脱離ガス分析
- 微量ガス分析
- PFCガス分析
仕様
| 機種名 | 高速型 | 高感度型 | ||||
| M-401QA-MGSY | M-401QA-MUSY | M-401QA-MGHY | M-401QA-MUHY | |||
| 基 本 性 能 | 質量数 | 1～410m/z | ||||
| 分解能 | M/ΔM≧2M | |||||
| 感度 （N2） | SEM | 4.0×10-1A/Pa | 4.0A/Pa | 4.0×10-1A/Pa | 4.0A/Pa | |
| 最小検知分圧 | ≦5.0×10-12Pa | ≦1.0×10-12Pa | ||||
| 最大動作圧力 | 1.3×10－2Pa以下 | |||||
| ダイナミック レンジ | 7桁 | 8桁 | 7桁 | |||
| (高速時) | 5桁 | － | － | |||
| 仕 様 | イオン源形状 | ガス導入型 （箱型） | UHV型 （カゴ型） | ガス導入型 （箱型） | UHV型 （カゴ型） | |
| フィラメント | イットリアコートイリジウム*1 | |||||
| ベーク温度 | 300℃（分析管のみ） | |||||
| デガス機能 | イオンソース ヒータ | エレクトロン ボンバード | イオンソース ヒータ | エレクトロン ボンバード | ||
| 掃引速度 | 1mSec/amu～ | 10mSec/amu～ | ||||
| 接続フランジ | φ114ICF | |||||
| 定格入力電圧 | AC100V～AC240V | |||||
| 最大消費電力 | 300W | |||||
| 質量 | 分析管 | 5.1Kg | ||||
| コントローラ | 6.2Kg | |||||
| 通信インターフェイス | RS-485/USB | |||||
| 標準ソフト | QUADVISION3 | |||||
| 対応 | RoHS（Category9） | |||||
*1）フィラメントの素材はオプションがございます。別途お問い合わせ下さい。