電離真空計 M-723HG・M-823HG・M-923HG
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
多様なゲージに対応する豊富な拡張ボードを備えた最も一般的なB-A型電離真空計シリーズです。
真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能やレンジホールド機能を標準で備えています。CC-Linkで通信制御を行えるタイプも用意してあります。
M-823HGで大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。
特長
- 圧力レンジは自動切換
- 圧力及び種々のメッセージが液晶表示
- 豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
- セットポイントを2点標準装備
用途
- 自動化真空装置の圧力測定
- スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
- マルチチャンバシステムでの圧力測定
- 一般真空装置の圧力測定
仕様
| 型名 | M-723HG | M-823HG | M-923HG | |
| 測定球 | UGD-1S B-Aゲージ球 | BRG-1Bワイドレンジ B-Aゲージ球 | NIG-2F/NIG-2TF ヌードイオンゲージ球 | |
| 圧力測定レンジ（Pa） | 5レンジ自動切換 10-2、10-3、10-4、 10-5、10-6 | 7レンジ自動切換 10-0、10-1、10-2、 10-3、10-4、10-5、 10-6 | 8レンジ自動切換 10-2、10-3、10-4、 10-5、10-6、10-7、 10-8、10-9 | |
| 測定レンジ切換 | 自動切換 (レンジホールド可) | |||
| ガス出し | グリッド通電加熱方式 | 電子衝撃方式 | ||
| フィラメント切換 | 前面パネルと外部制御入力により切換可(M823HG除く) | |||
| フィラメント保護 | 圧力、イオン電流、エミッション電流の変動幅のいずれかに問題があると、 自動的にOFF | |||
| アナログ出力 | D / A出力 (仮数部D / A出力、指数部D / A出力、複合D / A出力) アナログ出力 (エレクトロメータ出力) | |||
| I / O リモート | INPUT | フィラメントON/ OFF入力 デガスON/ OFF入力 フィラメントインビビット入力 レンジホールド1入力 レンジホールド2入力 フィラメント切換入力 ゲージ1/2切換入力 (ゲージセレクタオプション使用時) | ||
| OUTPUT | フィラメントON/ OFF出力 デガスON/ OFF出力 リモート/ローカル出力 セットポイント出力(2点) ゲージ1/2セレクト出力 (ゲージセレクタオプション使用時) パワーON/ OFF出力 フィラメント1/2出力 アラーム出力 | |||
| セットポイント | 2セットポイント標準装備（オープンコレクタ） | |||
| 外形寸法 (mm) | H99×W209×D330 | |||
| 所用電力 | AC100V±10％2A、50/60Hz（AC115/200/230Vにも対応可能） | |||
| 質量 | 5.4kg（オプションボード未装着時） | |||
| 標準構成 | 真空計本体（測定球およびケーブルは構成品に含まれません） | |||