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製品紹介

電離真空計 M-723HG・M-823HG・M-923HG

製品情報

概要

多様なゲージに対応する豊富な拡張ボードを備えた最も一般的なB-A型電離真空計シリーズです。
真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能やレンジホールド機能を標準で備えています。CC-Linkで通信制御を行えるタイプも用意してあります。
M-823HGで大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。

特長
  • 圧力レンジは自動切換
  • 圧力及び種々のメッセージが液晶表示
  • 豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
  • セットポイントを2点標準装備
用途
  • 自動化真空装置の圧力測定
  • スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
  • マルチチャンバシステムでの圧力測定
  • 一般真空装置の圧力測定
仕様
型名M-723HGM-823HGM-923HG
測定球UGD-1S B-Aゲージ球BRG-1Bワイドレンジ
B-Aゲージ球
NIG-2F/NIG-2TF
ヌードイオンゲージ球
圧力測定レンジ(Pa)5レンジ自動切換
10-2、10-3、10-4
10-5、10-6
7レンジ自動切換
10-0、10-1、10-2
10-3、10-4、10-5
10-6
8レンジ自動切換
10-2、10-3、10-4
10-5、10-6、10-7
10-8、10-9
測定レンジ切換自動切換 (レンジホールド可)
ガス出しグリッド通電加熱方式電子衝撃方式
フィラメント切換前面パネルと外部制御入力により切換可(M823HG除く)
フィラメント保護圧力、イオン電流、エミッション電流の変動幅のいずれかに問題があると、
自動的にOFF
アナログ出力D / A出力 (仮数部D / A出力、指数部D / A出力、複合D / A出力)
アナログ出力 (エレクトロメータ出力)
I / O リモートINPUTフィラメントON/ OFF入力
デガスON/ OFF入力
フィラメントインビビット入力
レンジホールド1入力
レンジホールド2入力
フィラメント切換入力
ゲージ1/2切換入力 (ゲージセレクタオプション使用時)
OUTPUTフィラメントON/ OFF出力
デガスON/ OFF出力
リモート/ローカル出力
セットポイント出力(2点)
ゲージ1/2セレクト出力 (ゲージセレクタオプション使用時)
パワーON/ OFF出力
フィラメント1/2出力
アラーム出力
セットポイント2セットポイント標準装備(オープンコレクタ)
外形寸法 (mm)H99×W209×D330
所用電力AC100V±10%2A、50/60Hz(AC115/200/230Vにも対応可能)
質量5.4kg(オプションボード未装着時)
標準構成真空計本体(測定球およびケーブルは構成品に含まれません)

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