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製品紹介

ミニチュアゲージ

製品情報

概要

ミニチュアゲージは金属製の小型ゲージ球です。到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が1つのゲージで行なえます。

仕様
型式MG-2MG-2MMG-2I/NW16,25
ボディー材質SUS304
測定上限圧力*113Pa
測定下限圧力*210-6Pa台
感度0.045Pa-1
フィラメントフィラメント2本内蔵
フィラメント材:イットリアコートイリジウム線
測定球容積約12cc
所要
電力
フィラメント
グリッドデガス
2.3W
1.0W
デガス方式グリッド通電
取り付け方法φ15ゲージアダプタまたは
各種フランジに溶接可
φ18ゲージアダプタNW25、NW16
型式MG-2I/
φ34ICF,φ70ICF
MG-2FMG-2WF
ボディー材質SUS304
測定上限圧力*113Pa1.3×10-1*3Pa
測定下限圧力*210-7Pa台1.0×10-5*4Pa台
感度0.045Pa-1
フィラメントフィラメント2本内蔵
フィラメント材:イットリアコートイリジウム線
フィラメント2本内蔵
フィラメント材:タングステン
測定球容積約12cc
所要
電力
フィラメント
グリッドデガス
2.3W
1.0W
2.5W
1.0W
デガス方式グリッド通電
取り付け方法φ34ICF、φ70ICFφ70ICFフランジに接続φ15ゲージアダプタまたは
各種フランジに溶接可

*1)リニアリティーの限界
*2)実用的に測定できる圧力の限界です。10-7Paの測定にはMG-2Fの使用を推奨いたします。
*3)但し、窒素やアルゴンガスのような不活性ガスでは13Paまで測定可能です。
*4)MG-2WFは、標準MG-2と比べ測定下限値が1桁高い値となります。

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