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製品紹介

ワイドレンジ電離真空計  M-833HG

製品情報

概要

M-833HGは、ミニチュアB-Aゲージ専用のコントロールユニットです。オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードが用意されています。ミニチュアB-AゲージとTCゲージ(オプション)のコンビネーション及び、ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、大気圧~超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。高真空~超高真空装置搭載に最適です。

特長
  • 豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
  • セットポイントを2点標準装備
  • 最大4ヶのオプションボード取付け可能で機能拡張性が充実
    (注記:GP-IBオプションには未対応)
  • CEマーキング、RoHSに対応
用途
  • 自動化真空装置の圧力計測
  • スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
  • マルチチャンバシステムでの圧力測定
  • 一般真空装置の圧力測定
仕様
測定球ミニチュアゲージ MG-2 シリーズ
圧力表示範囲0.1×10-7~1.32×101Pa *1
圧力表示測定レンジ自動切替
セットポイント2点標準装備 (オープンコレクタ)
D/A 出力0 ~ 10V:仮数部出力、指数部出力
0 ~ 11V:複合出力又はLOG出力
アナログ出力
(エレクトロメータ出力)
APCモード設定時 (0.1 ~ 2.5V)
ノーマルモード設定時 (0.1 ~ 1.6V)
外部制御機能
(リモート操作)
INPUTフィラメント ON / OFF
デガス ON / OFF
等6種類の外部制御機能
OUTPUT6種類のステータス信号出力
特殊機能APC対応:レンジホールド機能
エレクトロメータ出力機能
外形寸法(㎜)・質量H99×W209×D330、1.9kg(オプションボード未装着時)
所要電力100~240VAC *2
100VA以下、50/60Hz
エミッション電流10μA、100μA、1mA自動切換設定または固定設定
ガス出しグリッド通電加熱方式
フィラメント切替キー及びリモートI/O 操作
フィラメント保護オーバーレンジ設定値またはエミッション電流±50%の変動
標準構成真空計本体 (測定球及びケーブルは構成品に含まれません。)
対応CEマーキング、RoHS

*1)測定範囲は測定球MG-2の項をご参照ください。
*2)M-833HGに付属されるACケーブルは100V仕様です。200Vでご使用される場合は別途ご相談ください。

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