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製品紹介

ワイドレンジ電離真空計  M-431HG

製品情報

概要

M-431HGは、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。

特長
  • 外部入出力、RS-232C通信機能を標準装備
  • 入力電圧はワイド電圧
  • CEマーキング、RoHSに対応
用途
  • 自動化真空装置の圧力計測 
  • スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
  • マルチチャンバシステムでの圧力測定 
  • 一般真空装置の圧力測
仕様
圧力表示範囲0.01×10-7~13.2×100Pa *1
圧力表示デジタル、測定レンジ自動切換
セットポイント2点標準装備(ヒステリシス付き)
D/A 出力Logまたは複合出力切換(0~10V)
アナログ出力0~10V(APC対応出力)
外部制御機能
(リモート操作)
INPUTフィラメントON/OFF、パラメータLOCK、
フィラメント切換、デガスON/OFF、レンジホールド
OUTPUTセットポイント1,2、フィラメントON/OFFステータス
デガスステータス、フィラメント1/2ステータス
通信機能RS232C標準搭載(9600、4800、2400、1200bps)
外形寸法(㎜)・質量104W X 99H X 296D 1.2Kg
消費電力50VA AC90~240V 50/60Hz *2
エミッション電流10μA、100μA、1mA(自動切換えまたは固定)
ガス出しグリッド通電加熱方式、通電タイマー3分
フィラメント切替キー及びリモートI/O操作
フィラメント保護13.3×100PaにてフィラメントOFF
標準構成真空計本体(測定球及びケーブルは構成品に含まれません)
対応CEマーキング、RoHS

*1)測定範囲は測定球MG-2の項をご参照ください。
*2)M-431HGに付属されるACケーブルは100V仕様です。200Vでご使用される場合は別途ご相談ください。

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