ワイドレンジ電離真空計 M-431HG
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
M-431HGは、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。
特長
- 外部入出力、RS-232C通信機能を標準装備
- 入力電圧はワイド電圧
- CEマーキング、RoHSに対応
用途
- 自動化真空装置の圧力計測
- スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
- マルチチャンバシステムでの圧力測定
- 一般真空装置の圧力測
仕様
| 圧力表示範囲 | 0.01×10-7～13.2×100Pa *1 | |
| 圧力表示 | デジタル、測定レンジ自動切換 | |
| セットポイント | 2点標準装備（ヒステリシス付き） | |
| D/A 出力 | Logまたは複合出力切換（0～10V） | |
| アナログ出力 | 0～10V（APC対応出力） | |
| 外部制御機能 (リモート操作) | INPUT | フィラメントON/OFF、パラメータLOCK、 フィラメント切換、デガスON/OFF、レンジホールド |
| OUTPUT | セットポイント1,2、フィラメントON/OFFステータス デガスステータス、フィラメント1/2ステータス | |
| 通信機能 | RS232C標準搭載（9600、4800、2400、1200bps） | |
| 外形寸法（㎜）・質量 | 104W X 99H X 296D 1.2Kg | |
| 消費電力 | 50VA AC90～240V 50/60Hz *2 | |
| エミッション電流 | 10μA、100μA、1mA（自動切換えまたは固定） | |
| ガス出し | グリッド通電加熱方式、通電タイマー3分 | |
| フィラメント切替 | キー及びリモートI/O操作 | |
| フィラメント保護 | 13.3×100PaにてフィラメントOFF | |
| 標準構成 | 真空計本体（測定球及びケーブルは構成品に含まれません） | |
| 対応 | CEマーキング、RoHS | |
*1）測定範囲は測定球MG-2の項をご参照ください。
*2）M-431HGに付属されるACケーブルは100V仕様です。200Vでご使用される場合は別途ご相談ください。