二段差動排気型 Edge-RHEED
メーカー名：株式会社エイブイシー
製品情報
PLD、レーザーMBEなど1Pa以上の高い成膜圧力で使用できる「Edge-RHEED」を開発しました。
二段差動排気型電子銃の特長
- 最大100 Paまで使用可能
- 角度調整（チルト）機能付き
- 磁気シールド標準装備
- ゲートバルブ標準装備
- ドライ排気ユニットオプション
- 取付サポート台付属（形状相談可）
専用可動スクリーンの特長
- ICF152取付フランジ
- ビューポート付き
- 手動回転式防着シャッター付き
- 遮光カバー付き
- 直線移動機構付き、移動距離 50 mm
図面
取付イメージ図
仕様
電子銃
| 型 式 | RDA-201G |
| 絶縁耐圧 | DC 30 kV |
| ビームスポット径 | 最小Φ90 μm |
| フィラメント | タングステンヘアピン |
| ウェネルト | 可変バイアス |
| 集束レンズ | 空芯型電磁レンズ |
| 偏向レンズ | トロイダル電磁レンズ |
| ビーム偏向 | X： ±2°、Y：±4°（機械式手動） |
| 磁気シールド | 標準装備（電子銃部のみ） |
| 動作圧力 | < 100 Pa |
| 差動排気 | 二段：フィラメント室、ノズル部 |
| 最大ベーク温度 | 200 ℃ |
| 取付フランジ | ICF114-FH |
| 排気ポートフランジ | ICF70-FH |
| 寸 法 | Φ192 mm × 160 mm× 703 mm |
専用スクリーン
| 型 式 | ASHP-6 |
| 取付フランジ | ICF152-FH |
| ビューポート | 7056ガラス |
| スクリーン有効径 | Φ38 mm（鉛入りガラス） |
| スクリーン蛍光体 | P31 |
| 手動直線移動機構 | 移動距離 50 mm |
| 防着シャッター | 手動回転式 |
電源
| 型 式 | RDA-006P |