超高真空タイプ1源エバポレーター AEV-11
メーカー名：株式会社エイブイシー
製品情報
概要
AEV-11は、金属や半導体の単原子層や薄膜の作成を目的に設計されています。ロッド状材料を電子ビーム加熱し、高純度の蒸発を行うことが可能です。
到達温度はFe、Co、Ni、Ta、Wなどの材料を蒸発させるのに十分な温度です。また、オプションとしてルツボをご用意していますので、ロッド状材料以外の材料でも蒸着可能となっております。
特長
- フラックスモニターを内蔵
フラックスモニターはイオンゲージと同様の原理で、蒸発した分子の一部分がフィラメントからの熱電子によりイオン化され、その時のイオン電流を測定することによって蒸着速度をモニターすることが可能です。 - 専用コントローラと組合せれば機能性も充実
・AEV-1P-300専用コントローラと組合わせることで、フラックスの数値設定により蒸着レートの一定制御が可能です。
・選択可能なアパーチャーを入替えることにより、蒸着エリアの調整が行えます。
・ロッド状材料が蒸着中に減少しても、試料移動機構により超高真空を壊すことなく最適な蒸着試料位置の設定が可能です。 - 優れたメンテナンス性
ロッド状材料の交換は、本体を真空装置から取外すことなく、試料移動機構下部のICF34フランジより交換が簡単に行える設計となっているため、メンテナンス性に優れております。
仕様
| ワーキングディスタンス | 150㎜ |
| 蒸着エリア | Φ8〜Φ20㎜程度（アパーチャー入替にて選択可能） |
| シャッター | 手動シャッター |
| 水冷 | 冷却水/30℃以下、0.5L/min以上 |
| 温度範囲 | 〜3300℃ |
| 試料 | ロッドまたはルツボ(オプション) |
| 蒸発速度 | 数原子層/min |
| 蒸着モニター | 蒸着制御用内蔵フラックスモニター (AEV-1P-300にて、蒸発レートコントロールが可能) |
| ロッド移動 | 中空型直線移動機構(S＝30㎜) (中空型直線移動機構下部のICF34フランジを通して蒸着材交換) |
| 取付フランジ | ICF70-FH ※取付ポートの内径はΦ35㎜以上必要 |
| ベーキング温度 | 200℃ MAX |
| ロッド材寸法 | Φ2㎜×L40㎜ |