超高真空ワイドエリアエバポレーター
メーカー名：株式会社エイブイシー
製品情報
特長
- 高融点材料のワイドエリア蒸着に最適
- フラックスモニターを内蔵し、安定したレートコントロールを実現
- 水冷シュラウドを装備し、アウトガスを低減
- 試料移動機構により、ロッド形状試料を30㎜移動できるので、長時間蒸着が可能
- 手動シャッターを標準装備
- AEV-HR3は、3源共蒸着が可能
- オプションにてルツボも選択可能
仕様
| AEV-HR1 | AEV-HR3 | |
| 試料数 | 1源 | 3源* |
| 蒸着エリア | Φ80㎜〜Φ140㎜(ワーキングディスタンスによる) | |
| 蒸着レート | 0.1原子層/min〜0.5Å/sec(試料による) | |
| ワーキングディスタンス | 〜250㎜ | |
| 温度範囲 | 〜3300℃ | |
| 試料寸法 | Φ4㎜ or Φ6㎜ × L40㎜ | |
| 真空内長 | 200〜300㎜ | |
| ベーク温度 | MAX200℃ | |
| 冷却機構 | 水冷シュラウド(30℃以下、5L/min) | |
| 取付フランジ | ICF114-FH | ICF152-FH |
| フラックスモニター | 標準搭載 | 標準搭載/3源独立 |
| シャッター | 手動 | 手動/マルチポジション |
| 最大投入電力 | 500W | 500W(トータル) |
*）3元共蒸着の場合コントローラが3台必要
関連製品
エバポレーター専用コントローラ＆セレクター
特長
- フラックスモニターを使った自動コントロールが可能
- 制御レンジは7レンジ構成で幅広いレートコントロールが可能
- フラックスモニターのEXT出力をモニターすることで蒸着条件の記録が可能
- セレクターを用いることでケーブルの抜き差しを行うことなく、手軽にエバポレーターの切替えが可能
仕様
コントローラ
| AEV-3P-600 | |
| サイズ | W480×D450×D149(19インチラックマウント) |
| 入力電源 | AC85V〜265V/5A |
| フィラメント電流 | 0〜5A |
| 0HV出力 | 0〜3000V @200mA |
| フラックスモニター入力 | 0〜10nAから0〜10mA(7レンジ切り替え) |
| フラックスモニター出力 | 0〜10V |
| インターロック入力 | ドライ接点 |
| 内部インターロック | 冷却部温度モニター、HV異常放電 設定値によるエミッションオーバーラン防止 |
| フラックスコントロール | 手動/自動制御切り替え |
セレクター
| AEV-3P-3C | |
| サイズ | W480×D450×D149(19インチラックマウント) |
| 入力電力 | AC85V〜265V/5A |
| チャンネル | 3ch |