エバポレーター専用コントローラ AEV-1P-300
メーカー名：株式会社エイブイシー
製品情報
概要
AEV-1P-300はAEV-11、AEV-3専用に設計されたコントローラです。AEV-11、AEV-3と組み合わせて使用することにより、マニュアル操作によるコントロールはもちろん、フラックスモニターを使ったレートコントロールにより、自動制御が可能です。
特長
- 制御は7レンジ構成で、レートコントロールが幅広く対応可能
- フラックスモニターのEXT出力をモニターすることにより、蒸着条件の記録が可能
- ガン本体にある温度モニターを利用し、安全回路を設けてあることにより、安心してご使用いただけます
仕様
| サイズ | 480(W)×149(H)×500(D) ※取付け奥行き600 |
| 入力電源 | AC85V〜265V/5A |
| フィラメント電流 | 0〜5A |
| HV出力 | 0〜1000V at 300mA |
| フラックスモニター入力 | 0〜10nAから0〜10mA (7レンジ切り替え式) |
| フラックスモニター出力 | 0〜10V |
| インターロック入力 | ドライ接点 |
| 内部インターロック | 冷却部温度モニター HV異常放電 設定値によるエミッションオーバーラン防止 |
| フラックスコントロール | 自動/手動切り替え |