キャパシタンスゲージ
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
キャパシタンスゲージ“M-342DG”は、圧力センサ部に小型シリコンMEMSチップを採用することで、温度、振動、気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑え、高精度で安定した圧力測定、最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。
特長
- 高精度で安定した圧力測定
・優れたゼロ点安定性
・温度依存性が低く、優れた安定性を温度調整機構なしで実現
・優れた対振動ノイズ性能 - コンパクト・低消費電力
・質量200g、サイズW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト（※1）
・消費電力0.5W
※1 質量とサイズは、継ぎ手NW16仕様の場合
用途
真空中の圧力の高精度・長期間安定測定に幅広く対応
- 半導体、ディスプレイ、太陽電池など各種真空装置
・スパッタリング、PECVDなどの真空成膜プロセス圧力の制御、モニタリング
・ロードロック室、ウエハ冷却などのガス導入プロセス、システムの圧力管理 - 医療、バイオ、食品他各種産業、並びに各種研究開発用途
各種コーティング、プラズマ処理、真空封止、真空炉、分析装置、滅菌、真空ポンプ評価、分子蒸留 など
仕様
| 型名 | M-342DG | ||||
| -1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
| フルスケール圧力(Pa) | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
| 測定精度（％ of reading） | 0.20%(at23℃) | ||||
| ゼロ点温度係数（％ of F.S./℃） | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
| スパン温度係数 （％ of reading/℃） | 0.01 | 0.01 | 0.005 | ||
| 分解能（％ of Full-scale） | 0.01 | 0.005 | |||
| 測定下限圧力（％ of Full-scale） | 0.01 | ||||
| 実用測定下限圧力 （％ of Full-scale） | 0.05％ | ||||
| 実用制御下限圧力 （％ of Full-scale） | 0.5 | ||||
| 応答速度（ms） | 100 | 30 | |||
| 加圧上限 | 200kPa (但しNW16、NW25のものは内部が陽圧にならないこと) ※13.33Pa仕様は130kPa | ||||
| 電源電圧（VDC） | +13.5 ～ 26.4 | ||||
| 消費電力（W） | 0.5W | ||||
| アナログ出力（VDC） | 0 ～ 10V | ||||
| 使用温度/保管温度（℃） | 0～50/-20～70(非動作時) | ||||
| 最大ケーブル長（m） | 100m(専用ケーブル) | ||||
| ゼロ点調節方法 | プッシュスイッチ、リモート入力 | ||||
| 入出力コネクタ | D-sub9ピン(オス) | ||||
| 接ガス部材質 | SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴム | ||||
| フランジ形状と質量 | NW16(200g)、NW25(210g)、8-VCRメス(250g)、φ70ICF(460g) | ||||
| 対応 | CEマーキング、RoHS、IP40 | ||||
| 安全保障貿易管理規制 | 非該当 | ||||
| 対応表示器 | M-601GC(1ch接続タイプ)、M-603GC(3ch接続タイプ) | ||||