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製品紹介

キャパシタンスゲージ

製品情報

概要

キャパシタンスゲージ“M-342DG”は、圧力センサ部に小型シリコンMEMSチップを採用することで、温度、振動、気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑え、高精度で安定した圧力測定、最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。

特長
  • 高精度で安定した圧力測定
    ・優れたゼロ点安定性
    ・温度依存性が低く、優れた安定性を温度調整機構なしで実現
    ・優れた対振動ノイズ性能
  • コンパクト・低消費電力
    ・質量200g、サイズW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト(※1)
    ・消費電力0.5W

※1 質量とサイズは、継ぎ手NW16仕様の場合

用途

真空中の圧力の高精度・長期間安定測定に幅広く対応

  • 半導体、ディスプレイ、太陽電池など各種真空装置
    ・スパッタリング、PECVDなどの真空成膜プロセス圧力の制御、モニタリング
    ・ロードロック室、ウエハ冷却などのガス導入プロセス、システムの圧力管理
  • 医療、バイオ、食品他各種産業、並びに各種研究開発用途
    各種コーティング、プラズマ処理、真空封止、真空炉、分析装置、滅菌、真空ポンプ評価、分子蒸留 など
仕様
型名M-342DG
-1D-1N-11-12-13
フルスケール圧力(Pa)13.33133.31.333k13.33k133.3k
測定精度(% of reading)0.20%(at23℃)
ゼロ点温度係数(% of F.S./℃)0.010.0050.002
スパン温度係数
(% of reading/℃)
0.010.010.005
分解能(% of Full-scale)0.010.005
測定下限圧力(% of Full-scale)0.01
実用測定下限圧力
(% of Full-scale)
0.05%
実用制御下限圧力
(% of Full-scale)
0.5
応答速度(ms)10030
加圧上限200kPa (但しNW16、NW25のものは内部が陽圧にならないこと)
※13.33Pa仕様は130kPa
電源電圧(VDC)+13.5 ~ 26.4
消費電力(W)0.5W
アナログ出力(VDC)0 ~ 10V
使用温度/保管温度(℃)0~50/-20~70(非動作時)
最大ケーブル長(m)100m(専用ケーブル)
ゼロ点調節方法プッシュスイッチ、リモート入力
入出力コネクタD-sub9ピン(オス)
接ガス部材質SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴム
フランジ形状と質量NW16(200g)、NW25(210g)、8-VCRメス(250g)、φ70ICF(460g)
対応CEマーキング、RoHS、IP40
安全保障貿易管理規制非該当
対応表示器M-601GC(1ch接続タイプ)、M-603GC(3ch接続タイプ)

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