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製品紹介

イオンゲージ M-311HG

製品情報

概要

トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。イオンゲージ(熱陰極電離真空計)は再現性、リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。センサーは実績のあるミニチュアゲージ(MG-2Iタイプ)を使用しています。

特長
  • ワイドな圧力測定範囲
    10-7Pa〜10Paまで超高真空側の特性を犠牲にすることなく、スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能
  • 高応答アナログ出力
    圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能
  • 4つのエミッション電流設定モード
    高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能
用途
  • 生産用真空装置の圧力測定
  • 半導体スパッタリング装置の圧力測定
  • 各種真空装置
仕様
型名イオンゲージ
M-311HG-SPM-336MX-RS
圧力測定範囲 (Pa)1 × 10-7~10Pa
入力電圧DC20~28V
消費電力12W
アナログ出力0 ~ 10V
セットポイント2点リレー出力
インターフェイスRS485
入出力コネクタDsub-9(Male)
最大ケーブル長200m (1mm2)
使用温度範囲5 ~ 50℃
保存温度範囲-20 ~ 70℃
センサー型名ミニチュアB-Aゲージ(MG-2Iシリーズ)
センサー材質(主要部)フィラメント:Y2O3/Ir, ケース:SUS304
外形寸法(㎜)110×70×50
フランジ形状NW16, NW25, NW40, φ70ICF
対応CEマーキング, RoHS, IP40

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