ピラニゲージ M-350PG
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
概要
大気圧から測定できる手軽さと、高いコストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。低・中真空領域の測定用として、各種システム搭載用として、食品、自動車、医薬品をはじめ、様々な産業でご使用いただけます。
特長
- 再現性がよく低価格
- 5×10-2Paから大気圧
- 低・中真空領域の測定に最適
用途
粗引き系の圧力測定、排気系の圧力モニタ、制御など
仕様
| 型名 | ピラニゲージ | ||
| M-350PG-SD スタンダードタイプ | M-350PG-SP セットポイント付タイプ | M-350PG-RS RS485タイプ | |
| 圧力測定範囲 | 5×10-2 ～ 1×105(Pa) | ||
| 精度（Pa） | ±50％：5×10-2 ～ 1×10-1 ±15％：1×10-1 ～ 1×104 ±50％：1×104 ～ 1×105 | ||
| 再現性 | ±2％：1×10-1 ～ 1×104Pa | ||
| 入力電圧 | DC+14 ～ 30V | ||
| 消費電力 | 1W | ||
| アナログ出力 | 0 ～ 10V | – | |
| セットポイント | – | 2接点出力(DC30V, 1A) | |
| インターフェース | – | RS485 | |
| 入出力コネクタ | D-sub9ピン | ||
| 最大ケーブル長 | 200m（0.34mm2）対応可能＊1 | ||
| 使用温度範囲 | 5 ～ 60℃ | ||
| 保存温度範囲 | -20 ～ 70℃ (非動作時) | ||
| ベーキング温度 | ＜＋150℃（Oリング仕様、ゲージヘッドのみ） ＜＋300℃（メタルシール仕様、ゲージヘッドのみ） | ||
| 許容過負荷圧力 | 1MPa（継手形状NPTに限る、不活性ガスに限る、絶対圧） | ||
| 適合ピラニセンサ型名 | MP-1 | ||
| フランジ形状 | NW16､NW25､φ34ICF､1/8NPT､φ15アダプタ、φ18アダプタ | ||
| センサー材質(主要部) | ピラニフィラメント：タングステン センサーチューブ：ステンレス 導入端子絶縁部：コバールガラス | ||
| 対応 | CEマーキング、RoHS、IP40 | ||
*1）M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。