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製品紹介

コールドカソードピラニゲージ

製品情報

特長
  • 優れた測定安定性
    ・ピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減
  • 優れた大気圧検出を実現
    ・本器搭載のピラニゲージは、大気圧付近で安定性・再現性が高く、応答性は隔膜真空計と同等
  • 簡易なメンテナンス
    ・コールドカソードのメンテナンスは部品交換のみ

※水素や酸素といった活性ガスの分圧が高い環境や、これらのガスを大量に使用する環境では、CCゲージの放電開始が著しく遅れる場合があります。そのような環境でご使用になる場合は、弊社にご相談ください。

用途

超高真空~大気圧まで、各種真空測定に幅広く対応
(例)
エレクトロニクス・光学:蒸着、コーティング、電子ビームマスク描画、スパッタリング、イオン注入、MBE
分析:電子顕微鏡、SIMS、AES、XPS他、各種表面/ガス/質量分析
各種工業:アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接、冶金、分子蒸留、ガス充填
高エネルギー物理:加速器、サイクロトロン

仕様
コールドカソードピラニゲージ
M-361CP-SP
セットポイント付き
M-361CP-RS
RS485タイプ
圧力測定範囲 (Pa)1× 10-7~1 × 105
入力電圧DC+15 ~ 30V
消費電力2.4W
アナログ出力0 ~ 10V
セットポイント2接点出力(DC30V,1A)
インターフェイスRS485
入出力コネクタD-sub9ピン※変換コネクターあり
最大ケーブル長300m (1mm2)*1
使用温度範囲5 ~ 55℃
保存温度範囲-20 ~ 70℃ (非動作時)
センサー型名CP2
センサー材質(主要部)フィラメント:W、電極:Mo、絶縁石:Al2O2、 ケース:SUS304
外形寸法50(W)x50(D)x110(L)(継手NW25の場合)
フランジ形状NW25,NW40, φ70ICF
対応CEマーキング、RoHS(Category9)、IP40

*1)M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100mとなります。

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