コールドカソードピラニゲージ
メーカー名：キヤノンアネルバ株式会社
製品情報
特長
- 優れた測定安定性
・ピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減 - 優れた大気圧検出を実現
・本器搭載のピラニゲージは、大気圧付近で安定性・再現性が高く、応答性は隔膜真空計と同等 - 簡易なメンテナンス
・コールドカソードのメンテナンスは部品交換のみ
※水素や酸素といった活性ガスの分圧が高い環境や、これらのガスを大量に使用する環境では、CCゲージの放電開始が著しく遅れる場合があります。そのような環境でご使用になる場合は、弊社にご相談ください。
用途
超高真空～大気圧まで、各種真空測定に幅広く対応
(例)
エレクトロニクス・光学：蒸着、コーティング、電子ビームマスク描画、スパッタリング、イオン注入、MBE
分析：電子顕微鏡、SIMS、AES、XPS他、各種表面/ガス/質量分析
各種工業：アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接、冶金、分子蒸留、ガス充填
高エネルギー物理：加速器、サイクロトロン
仕様
| コールドカソードピラニゲージ | ||
| M-361CP-SP セットポイント付き | M-361CP-RS RS485タイプ | |
| 圧力測定範囲 (Pa) | 1× 10-7～1 × 105 | |
| 入力電圧 | DC+15 ～ 30V | |
| 消費電力 | 2.4W | |
| アナログ出力 | 0 ～ 10V | — |
| セットポイント | 2接点出力(DC30V,1A) | |
| インターフェイス | — | RS485 |
| 入出力コネクタ | D-sub9ピン※変換コネクターあり | |
| 最大ケーブル長 | 300m (1mm2)*1 | |
| 使用温度範囲 | 5 ～ 55℃ | |
| 保存温度範囲 | -20 ～ 70℃ (非動作時) | |
| センサー型名 | CP2 | |
| センサー材質(主要部) | フィラメント：W、電極：Mo、絶縁石：Al2O2、 ケース：SUS304 | |
| 外形寸法 | 50(W)x50(D)x110(L)(継手NW25の場合) | |
| フランジ形状 | NW25,NW40, φ70ICF | |
| 対応 | CEマーキング、RoHS(Category9)、IP40 | |
*1）M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。