成膜レシピ制御型自動蒸着システム ADS-E86
メーカー名:株式会社エイブイシー
製品情報
概要
高融点金属から半導体・酸化物等異種材料を積層した新材料デバイスの研究開発に最適です。大型の主排気真空ポンプを備え、高真空環境下での蒸着が可能です。リフトオフ蒸着に最適な基板冷却機構を備えています。レシピ制御ソフトにより基板セット後は、全自動操作で多層膜蒸着などの成膜レシピ設定制御ができます。
特長
- 高速真空排気:“大気圧からE-3 Paまで3分以内”(ロードロック室)
- レシピ選択し、“ワンクリック”だけで成膜完了まで全自動
- レシピ制御ソフトは“プロセス数およびレイヤー数の制限無し”
- 独自の搬送機構を採用し小型化“省スペース”を実現
- 蒸着室に前面大型ハッチを装着し“メンテナンスが容易”
- “低レートでも安定蒸着”(AuおよびAl 0.1 Å/sec)
- リフトオフ蒸着を考慮した“基板冷却機構”を装備
- “視認性と操作性に配慮”した23インチワイドモニターを装備
チャンバー 内寸 | 600×600×800 mm ※高真空脱ガス処理済み |
排気系 | 2100 L/sec TMP+Dryポンプ |
基板機構 | φ8インチ対応 水冷機構付(基板回転なし) 圧空作動式基板シャッター装備 |
膜厚計 | QCMセンサー(1ch) |
電子銃 | 6.4 kW 270°偏向 ※エミッターAssyの交換は高電圧ケーブル を外さない設計 ※低レート蒸着も可能(0.1 Å/sec Au or Al) |
ルツボ | 容量12 ml×6連回転式ルツボ ※クロスコンタミ対策 10ルツボのオプション有 |
ハース ライナー | 多重ハースライナー選択可能 |
蒸着レシピPC制御
■蒸着時モニター画面
表示およびインターロック(I/L)
・蒸着レート(Å/sec)、出力(%)、積算膜厚(Å)
・レート偏差、レート偏差アラーム、レートオーバーSP、出力オーバーアラームSP
・クリスタルライフ(%)、振動数(Hz)、クリスタルライフI/L、クリスタルライフAbort SP
■Recipe 操作画面(Recipe主要パラメータの設定操作)
Step毎パラメータ設定
・Step名、リピート設定、ルツボ/蒸発材料選択、積算膜厚(Å)、蒸着レート(Å/sec)
・蒸着前条件設定
・膜厚コントローラ連携:各蒸発材料毎に15種類のパラメータ設定
■PLC制御(真空排気、基板搬送、ルツボ位置)
OPERATION MODE画面
・利用者画面:全自動蒸着
・全自動:START(ABORT)
・ロードロック:真空保持 or VENT ※VENTまでの自動有無選択可
・状態表示:排気系統 真空経時 E-GUN 動作履歴