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製品紹介

PLASSYS BESTEK 超伝導接合形成用高真空蒸着装置 MEB550S型

本装置は、量子ビット(”Qubit”)やジョセフソン接合を含む超伝導ループからなる超伝導磁束量子ビット(“Superconducting Qubit”)の研究に欠かせない全世界で抜群の納入・稼働実績を誇るフランスPLASSYS社製成膜装置です。

基板セット後、真空排気、基板表面のトリートメント、斜め蒸着基板角度の設定、蒸着レートと膜厚の設定、酸化条件の設定などがパソコン画面上で簡単に設定でき自動運転が行えます。
高品質で再現率の良い量子ビットの制作が可能になるQuick turnaround timeなシステムです。

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