GEシリーズ(エラストマシール)/GMシリーズ(メタルシール)
メーカー名：日本エム・ケー・エス株式会社, Mass-Flo コントローラ/メーター
製品情報
概要
・GEシリーズ(エラストマシール)汎用サーマルマスフローコントローラ
・GMシリーズ(メタルシール)汎用サーマルマスフローコントローラ、メータオプションあり
特長
- Ethernet通信、ブラウザで動作する為専用表示器無しでもPC制御可能
- F.S. 5〜50000 sccm
- マルチガス/マルチレンジに設定変更可能
- In-Situでの機能チェック、モニターが可能
- 高精度・設定値の1％精度を実現(校正ガス)