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製品紹介

GEシリーズ(エラストマシール)/GMシリーズ(メタルシール)

メーカー名:日本エム・ケー・エス株式会社, Mass-Flo コントローラ/メーター

製品情報

概要

・GEシリーズ(エラストマシール)汎用サーマルマスフローコントローラ
・GMシリーズ(メタルシール)汎用サーマルマスフローコントローラ、メータオプションあり

特長
  • Ethernet通信、ブラウザで動作する為専用表示器無しでもPC制御可能
  • F.S. 5〜50000 sccm
  • マルチガス/マルチレンジに設定変更可能
  • In-Situでの機能チェック、モニターが可能
  • 高精度・設定値の1%精度を実現(校正ガス)

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