IEシリーズ(エラストマシール)/IMシリーズ(メタルシール)
メーカー名：日本エム・ケー・エス株式会社, Mass-Flo コントローラ/メーター
製品情報
概要
・IEシリーズ(エラストマシール) IP66仕様サーマルマスフローコントローラ
・IMシリーズ(メタルシール) IP66仕様サーマルマスフローコントローラ、メータオプションあり
特長
- F.S. 5〜50000 sccm
- IP66仕様(防水、防塵)
- マルチガス/マルチレンジ対応
- In-Situでの機能チェック、モニターが可能
- 高精度・設定値の1％精度を実現(校正ガス)