大気圧オンラインモニタ Cirrus3-XD メーカー名:日本エム・ケー・エス株式会社, プロセスモニタ/RGA 製品情報 特長 プロセスガス中のコンタミ、溶剤蒸気、炭化水素、大気及び無機ガス種、フレオン、希ガスの気体をin-situで監視、分析に最適V-lens光学系により、前モデルよりもバックグランドを低減