四重極プロセスモニタ Vision 2000-C/E メーカー名：日本エム・ケー・エス株式会社, プロセスモニタ/RGA 製品情報 特長 CVD、エッチング、イオン注入プロセスのin-situ連続プロセスモニタリング可能RGAアナライザ、真空システム、制御ユニット、ソフトウェアからなる一体型システム
