イオントラップ型質量分析計 835VQM
メーカー名：日本エム・ケー・エス株式会社, プロセスモニタ/RGA
製品情報
特長
- 1〜145amuの全圧および分圧計測情報を85msecでスキャン可能な高速応答性（1〜300amuは120msec）
- 瞬時に取り出せる情報：10種類の主要合成ガスについて、正規化比率、パーセンテージおよび絶対値で表示、全圧および分圧推移グラフが瞬時に作成可能
- 低質量元素、水素およびヘリウムの高精度計測が可能（ゼロ点付近でのブラストなし）
- 真空システムにある単一既存ガス種を利用しての容易なガスキャリブレーションが可能
- 15Wの低消費電力
- 1mまたは3mのケーブルで測定子と電装系から分離してリモート設置が可能
仕様
| 測定範囲 | 1×10-7〜5.5×10-3Pa |
| 精度 | ±20％ |
| 質量数範囲 | 1-145amu or 1-300amu |
| レスポンスタイム | 85ms(1-145amu) or 120ms(1-300amu) |
| コントローラサイズ | 幅105㎜×高さ40㎜×奥行156㎜ |
| マススペクトロメータゲージ | 奥行191㎜×直径70㎜ |
寸法図
