非接触3次元白色光干渉型光学顕微鏡 ContourX-100
メーカー名：ブルカージャパン株式会社, ナノ表面計測事業部製品
製品情報
概要
ContourX-100 Optical Profilometerは、妥協のない2D/3Dの高解像度測定機能を提供します。
ゲージ対応のベンチトップシステムは、操作画面は直感的でわかりやすいインターフェースを提供し、精密機械加工された表面、厚膜、トライボロジーアプリケーション等向けにプログラムされたフィルター機能や分析機能の豊富なライブラリに直感的にアクセスし、高速、高精密な計測データを提供します。
特長
高速で再現性の高い3D計測
- 観測倍率に依存しない業界最高のZ解像度を実現
- 広域な標準視野
- 最高の安定性と再現性を実現するためのコンパクトで振動に強い設計
優れた測定と分析機能を装備
- 使いやすいインターフェイスで迅速かつ正確な結果が得られます
- 粗さ、表面テクスチャ、臨界寸法のためのフィルタと解析オプションの豊富なライブラリを提供
- ISO 25178、ASME B46.1、ISO 4287などの業界標準に合わせてカスタマイズされた分析レポート
仕様
| スキャン範囲 | ≦10㎜ |
| 垂直分解能1 | ＜0.01nm |
| 横分解能 | 0.38μm min(スパロー基準)； 0.13μm(AcuityXR®) |
| 段差測定精度2 | ＜0.75％段差 |
| 段差再現性 | ＜0.1％ 1/σ |
| 最大スキャン速度 | 37μm/sec(標準カメラ使用時) |
| 反射率範囲 | 0.05％ to 100% |
| サンプル傾斜限界 | ≦40°(光沢のある表面)； ≦87°(粗い表面) |
| サンプル高さ | ≦100㎜ (4 in.) |
| XYサンプルステージ | 150㎜ (6 in.) 手動操作 |
| Zフォーカシング | 100㎜ (4 in.) 自動操作 |
| 傾斜調整機能 | ±6°(4 in.) |
| 光学計測モジュール | 特許取得済みのデュアルカラーLED照明 単一対物レンズアダプタ 自動(オプション)または手動タレットハウジング 電動(オプション)または手動ディスクリートモジュール |
| 対物レンズパフォーカル | 標準型：2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 115X 長作動型：1X, 1.5X, 2X, 5X, 10X； 環境制御型TTM：2X, 5X, 10X, 20X； 明視野型：2.5X, w5X, 10X, 50X |
| 光学ズームレンズ | 0.55, 0.75X, 1X, 1.5X, 2X |
| カメラ | 白黒（標準）5MP |
| ソフトウェアシステム | Vision64およびVision Xpress 解析ソフトウェア (Windows 10 OS) |
| ソフトウェアパッケージ | USI; Advanced PSI; Production Mode; VisionMAP; AcuityXR®; 光学解析；SureVision; Film; MATLAB; SDK, TCP/IP |
| 自動機能 | 光量・焦点合わせ、解析データ保存、データベース記録 |
| 装置校正 | NIST/PTBに準拠 |
| 設置面積 | 451㎜(W)×533㎜(D)×754㎜(H) |
| 装置重量 | 60kg |
1）SiCリファレンスミラー上30回連続測定時の再現性測定 Sq/σ値。PSI Mode
2）基準段差 8μm以上の絶対精度値