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製品紹介

非接触3次元白色光干渉型光学顕微鏡 ContourX-200

製品情報

概要

ContourX-200 Optical Profilometerは、高度な特性評価、カスタマイズ可能なオプション、使いやすさを完璧に融合させた、クラス最高の高速、高精度、再現性のある非接触3次元表面形状測定装置です。
ゲージを搭載した小型のシステムは、広域対応の測定範囲 5MPデジタルカメラと新型の電動XYステージにより、2D/3Dの高分解能測定を実現しました。ContourX-200は、業界で最も先進的な操作・解析ソフトウェアであるVision64を搭載しています。

特長

業界最高性能のエリア計測

  • 倍率に依存しない最高かつ安定したZ解像度
  • 標準仕様でさらなる広域測定
  • 高安定性、振動性に優れたコンパクト ベンチトップ設計

パワフルな測定と分析

  • 使いやすいインターフェイスで迅速かつ正確な結果を取得
  • 測定-分析のルーティンを自動化する豊富な機能
  • 粗さ、表面テクスチャ、寸法等の解析機能に対応する豊富なライブラリ
  • ISO 25178、ASME B46.1、ISO 4287などの業界標準に合わせてカスタマイズされた分析レポート
仕様
スキャン範囲≦10㎜
垂直分解能1<0.01nm
横分解能0.38μm min(スパロー基準);
0.13μm(with AcuityXR®)
段差測定精度2<0.75%段差
段差再現性<0.1% 1/σ
最大スキャン速度37μm/sec(標準カメラ使用時)
反射率範囲0.05% to 100%
サンプル傾斜限界≦40°(光沢のある表面);
≦87°(粗い表面)
サンプル高さ≦100㎜ (4 in.)
XYサンプルステージ150㎜ (6 in.) 自動操作
Zフォーカシング100㎜ (4 in.) 自動操作
傾斜調整機能±6°(4 in.)
光学計測モジュール特許取得済みのデュアルカラーLED照明
単一対物レンズアダプタ
自動(オプション)または手動タレットハウジング
電動(オプション)または手動ディスクリートモジュール
対物レンズパフォーカル標準型:2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 115X
長作動型:1X, 1.5X, 2X, 5X, 10X;
環境制御型TTM:2X, 5X, 10X, 20X;
明視野型:2.5X, w5X, 10X, 50X
光学ズームレンズ0.55, 0.75X, 1X, 1.5X, 2X
カメラ白黒(標準)5MP
カラー(オプション)5MP(1200×1000Pixel)
ソフトウェアシステムVision64およびVision Xpress 解析ソフトウェア
(Windows 10 OS)
ソフトウェアパッケージUSI; Advanced PSI; Production
Mode; VisionMAP; AcuityXR®;
光学解析;SureVision; Film;
MATLAB; SDK, TCP/IP
自動機能光量・焦点合わせ、解析データ保存、データベース記録
装置校正NIST/PTBに準拠
設置面積480㎜(W)×604㎜(D)×754㎜(H)
装置重量ContourX-200:67kg

1)SiCリファレンスミラー上30回連続測定時の再現性測定 Sq/σ値。PSI Mode
2)基準段差 8μm以上の絶対精度値

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