非接触3次元白色光干渉型光学顕微鏡 ContourX-200
メーカー名：ブルカージャパン株式会社, ナノ表面計測事業部製品
製品情報
概要
ContourX-200 Optical Profilometerは、高度な特性評価、カスタマイズ可能なオプション、使いやすさを完璧に融合させた、クラス最高の高速、高精度、再現性のある非接触3次元表面形状測定装置です。
ゲージを搭載した小型のシステムは、広域対応の測定範囲 5MPデジタルカメラと新型の電動XYステージにより、2D/3Dの高分解能測定を実現しました。ContourX-200は、業界で最も先進的な操作・解析ソフトウェアであるVision64を搭載しています。
特長
業界最高性能のエリア計測
- 倍率に依存しない最高かつ安定したZ解像度
- 標準仕様でさらなる広域測定
- 高安定性、振動性に優れたコンパクト ベンチトップ設計
パワフルな測定と分析
- 使いやすいインターフェイスで迅速かつ正確な結果を取得
- 測定-分析のルーティンを自動化する豊富な機能
- 粗さ、表面テクスチャ、寸法等の解析機能に対応する豊富なライブラリ
- ISO 25178、ASME B46.1、ISO 4287などの業界標準に合わせてカスタマイズされた分析レポート
仕様
| スキャン範囲 | ≦10㎜ |
| 垂直分解能1 | ＜0.01nm |
| 横分解能 | 0.38μm min(スパロー基準)； 0.13μm(with AcuityXR®) |
| 段差測定精度2 | ＜0.75％段差 |
| 段差再現性 | ＜0.1％ 1/σ |
| 最大スキャン速度 | 37μm/sec(標準カメラ使用時) |
| 反射率範囲 | 0.05％ to 100% |
| サンプル傾斜限界 | ≦40°(光沢のある表面)； ≦87°(粗い表面) |
| サンプル高さ | ≦100㎜ (4 in.) |
| XYサンプルステージ | 150㎜ (6 in.) 自動操作 |
| Zフォーカシング | 100㎜ (4 in.) 自動操作 |
| 傾斜調整機能 | ±6°(4 in.) |
| 光学計測モジュール | 特許取得済みのデュアルカラーLED照明 単一対物レンズアダプタ 自動(オプション)または手動タレットハウジング 電動(オプション)または手動ディスクリートモジュール |
| 対物レンズパフォーカル | 標準型：2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 115X 長作動型：1X, 1.5X, 2X, 5X, 10X； 環境制御型TTM：2X, 5X, 10X, 20X； 明視野型：2.5X, w5X, 10X, 50X |
| 光学ズームレンズ | 0.55, 0.75X, 1X, 1.5X, 2X |
| カメラ | 白黒（標準）5MP カラー（オプション）5MP(1200×1000Pixel) |
| ソフトウェアシステム | Vision64およびVision Xpress 解析ソフトウェア (Windows 10 OS) |
| ソフトウェアパッケージ | USI; Advanced PSI; Production Mode; VisionMAP; AcuityXR®; 光学解析；SureVision; Film; MATLAB; SDK, TCP/IP |
| 自動機能 | 光量・焦点合わせ、解析データ保存、データベース記録 |
| 装置校正 | NIST/PTBに準拠 |
| 設置面積 | 480㎜(W)×604㎜(D)×754㎜(H) |
| 装置重量 | ContourX-200：67kg |
1）SiCリファレンスミラー上30回連続測定時の再現性測定 Sq/σ値。PSI Mode
2）基準段差 8μm以上の絶対精度値