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製品紹介

触針式プロファイリングシステム DektakXT-E, S, A

製品情報

特長

シングルアーチ設計とスマート・エレクトロニクスにより測定再現性5Åを実現し、ダイレクトドライブ・ステージは測定時間を40%向上させます。64ビットコンピュータ上で動作するVision64は従来の10倍の高速データ解析を行います。またオールインワン設計のスタイラスセンサーヘッドは、ヘッド交換無しで、ロングレンジスキャンと低触圧測定モードを同時に実現します。

仕様
型名DektakXT-E
(Entry)
DektakXT-S
(Standard)
DektakXT-A
(Automation)
測定方法触針式プロファイル
測定能力(2D)2D表面プロファイル
測定能力(3D)3Dプロファイル
サンプル観察0.275〜2.2㎜(1〜8倍 自動デジタルズーム機能付)
スタイラスセンサー低慣性センサー(LIS3センサー)
触圧範囲1〜15mg(LIS3センサー)
抵触圧オプション0.03〜15mg(N-Lite+オプション)
スタイラスオプション先端曲率(50nm,2μm,2.5μm,5μm,12.5μm,25μm)
サンプルステージ(X/Y)手動100㎜手動100㎜自動150㎜
サンプルステージ(R-θ)手動360度自動360度
対応サンプルチャック2〜3インチウエハ用
4〜6インチウエハ用
8インチウエハ用
2インチ円形セラミックバキュームチャック
6インチPV用バキュームチャック
コンピュータ−システム64Bitマルチコア・パラレルプロセッサ,Windows10対応 ワイド型液晶モニタ装備
ソフトウエア
(オンライン)
Vision64オペレーション&解析ソフトウエア
Vision64オフライン解析ソフトウエア
ソフトウエア
(オフライン)
粗さ・段差・ヒストグラム・ベアリングカーブ・ストレス測定・マイクロフォーム・自動パターン認識・タベース管理・プロダクションインターフェース・その他
スキャン長55㎜
ステッチング対応最大200㎜
スキャン毎の
測定ポイント
最大120,000ポイント/ライン
最大サンプルの高さ50㎜
最大搭載試料サイズ100×100㎜200㎜Φ200㎜Φ
段差測定再現性1σ≦4Å(1μm以下段差30回連続測定のσ値,12.5μmスタイラス使用)
高さ測定範囲(最大)1㎜
高さ分解能1Å(6.5μm 測定レンジ選択時)
入力電源100-240VAC,50-60Hz
温度範囲20-25℃
湿度範囲≦80%(結露無きこと)
システム重量本体:34Kg
エンクロージャー:5Kg
システム寸法本体寸法:455㎜W×550㎜D×370㎜H
エンクロージャー:585㎜W×574㎜D×455㎜H
防振台卓上型空気ばね式・テーブル型空気ばね式・卓上型アクティブ型 等

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