低電流型 PICO-RHEED
メーカー名：株式会社アールデック
製品情報
発売以来、多くの研究所にてお使いいただいているアールデックのRHEEDに、新製品がラインナップされました。PICO-RHEEDは専用MCPスクリーンを用いることで、電子線による試料ダメージを大幅に軽減すると同時に、高輝度の反射電子回折像が観察できます。標準スクリーン（オプション）の切り替えにより、標準型RHEEDとして使用でき、有機薄膜と無機薄膜両方の解析ができます。
特長
- 試料ダメージ大幅軽減（1/500〜1/2800：当社比）
- ウェネルト電極バイアス可変機能
- 低ノイズ、高安定出力による高い信頼性
- kSA400 RHEED画像・映像解析システムに対応
図面
仕様
電子銃
| 型 式 | RDA-005G |
| 絶縁耐圧 | DC 30 kV |
| ビームスポット径 | 最小Φ90 μm |
| フィラメント | タングステンヘアピン |
| ウェネルト | 可変バイアス |
| 集束レンズ | 空芯型電磁レンズ |
| 偏向レンズ | トロイダル電磁レンズ |
| ビーム偏向 | X/Y: ±8° |
| 磁気シールド | 標準装備 |
| 動作圧力 | < 1×10-3 Pa |
| 最大ベーク温度 | 200 ℃ |
| 取付フランジ | ICF70-FH |
| 寸 法 | Φ100 mm×335 mm （コネクタを含むと455 mm） |
専用MCPスクリーン
| 型 式 | RDA-100M |
| スクリーン有効径 | Φ77 mm |
| ビューポート | 7056ガラス （放射線遮断用カバー付属） |
| 取付フランジ | ICF152-FH |
| 防着シャッター | 手動回転式 |
専用MCP電源
| 型 式 | RDA-100P |
| MCP出力電圧（Ch１） | 最大 1 kV |
| 蛍光面出力電圧（Ch 2） | 最大 1 kV |
| 電源入力電圧 | AC 100 V ~ 240 V |
電子銃電源
| 型 式 | RDA-006P |
| 加速電圧 | -3 〜 -30 kV (リップル 15 V p-p) |
| エミッション電流 | 最大 80 μA |
| フィラメント電源 | 0 〜+2 V、最大 1.9 A |
| バイアス電源 | 0 〜 480 V可変 (リップル 5 m V p-p) |
| メモリ機能付リモコン | LCD表示：加速電圧、エミッション電流、フィラメント電流、 バイアス電圧、ビーム偏向(X/Y)、フォーカス(Z) |
| インターロック | 高電圧インターロック |
| ケーブル | 高圧ケーブル 5 m、リモコンケーブル 7 m |
| 外部入出力 | アナログデジタル I/O、kSA 400ガンコントロール対応 |
| 入力電源 | AC 100 V |
| 寸 法 | EIA 4U 高さ 177 mm x 幅 482.5 mm x 奥行 450 mm |
| その他 | RoHS対応 |
※仕様寸法など改良のため、予告なく変更する場合がございますのでご了承下さい。