非接触型シート抵抗測定器 Delcom 20J3
メーカー名：Delcom
製品情報
概要
渦電流法（エディカレント）により非接触・非破壊で下記の測定が可能です。
- シート抵抗[Ω/sq]を直接測定します。
- シート導電性[S/sq]を算出できます。
- 抵抗率[Ω・㎝]は測定試料の厚さが既知のとき算出できます。
- 試料の厚さ[μm]は抵抗率が既知のとき算出できます。
特長
- 導電性素材のシート抵抗を非接触・非破壊で測定します。
- 0.0005 Ω/sq ~ 100,000 Ω/sqを5つの測定範囲でカバーします。
(5タイプのセンサーから隣り合う2つの範囲を選択)
5~100,000 Ω/sq
0.5~10,000 Ω/sq
0.05~1,000 Ω/sq
0.005~100 Ω/sq
0.0005~10 Ω/sq - 絶縁層による影響を受けません。
- roll-to-rollなど移動するサンプルでもリアルタイムで測定出来ます。
- フィルム、導電膜付ガラス、ウエハ、金属基板などで利用可能です。
- 真空チャンバー内で使用可能なセンサーもあります。
アプリケーション
- 静電防止フィルム
- アンテナ
- 有機薄膜
- バッテリー
- 装飾用フィルム、紙
- ディスプレー
- 金属化コンデンサフォイル
- フレキシブル回路、フレキシブル基板
- ガルバニックコーティング
- レーダー吸収材
- 反射材
- 半導体
- ソーラーパネル
- 透明導電膜(ITO、TCO)
仕様
| 測定レート | 25測定 / 秒 |
| サンプル移動速度 | 1000 m / min Max. |
| 温度によるドリフト | 0.25% / ℃ Max. |
| 電極間隔（試料を入れる隙間） | 3.0 mm |
| 最小サンプルサイズ | φ25 mm |
| 空間分解能 | φ20 mm |
| 最大サンプル厚 | 1.5 mm |
| センサー奥行 | 200 mm |
| 最大許容サンプル幅 | 400 mm |
| ディスプレー表示応答時間 | プログラム可 |
| 測定再現性 | 99.9％ |