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製品紹介

マルチコンタクトデバイス評価装置 697MNK

製品情報

特長

ロードロック室かデバイスを導入し、複数の電極の確実なコンタクトをする事により、デバイス評価ができます。
ガス導入系により任意のガス種・圧力での実験も可能です。

仕様

通電チェンバー

チェンバーφ250×350
試料マニピュレーター3軸 (X, Y, Z) /多ピンコンタクト機構付
排気系TMP 800L/sec・SP 500L/min

ロードロック室

チェンバーφ250×350
搬送機構トロッコ式サンプル導入機構
排気系TMP 200L/sec・SP

ガス導入系

制御系バラトロン圧力制御(自動マスフロー流量制御)

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