マルチコンタクトデバイス評価装置 697MNK
メーカー名：株式会社アールデック, 株式会社エイブイシー
製品情報
特長
ロードロック室かデバイスを導入し、複数の電極の確実なコンタクトをする事により、デバイス評価ができます。
ガス導入系により任意のガス種・圧力での実験も可能です。
仕様
■通電チェンバー
| チェンバー | φ250×350 |
| 試料マニピュレーター | 3軸 (X, Y, Z) /多ピンコンタクト機構付 |
| 排気系 | TMP 800L/sec・SP 500L/min |
■ ロードロック室
| チェンバー | φ250×350 |
| 搬送機構 | トロッコ式サンプル導入機構 |
| 排気系 | TMP 200L/sec・SP |
■ ガス導入系
| 制御系 | バラトロン圧力制御(自動マスフロー流量制御) |