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製品紹介

水晶振動子

製品情報

■優れた薄膜の製造には優れた水晶振動子が必要です
INFICON の水晶振動子は産業界の様々なアプリケーションで数多くの材料を用いた何百万回ものランに適用され、その品質と信頼性が実証されています。

全数に対して試験と検査を実施

プロセスで長くご使用いただき、安定で精密な速度コントロールを達成するため、水晶振動子1個ごとに次の項目の検査を行います:

  • 抵抗
    測定の安定性とコーティング寿命保証のために抵抗をチェックします。抵抗値は電気接触と電極密着性の良い指標です。
  • 周波数
    起動周波数が非常に狭い仕様の範囲に収まっていることを確認します。精密な膜厚測定にはこの特性が重要です。
  • 曲率
    共振の安定性確保のために電気的な試験を実施して曲率精度を確認します。曲率精度が悪いと測定安定性の劣化が早くなります。
  • 目視検査
    水晶振動子の使用寿命と安定性確保のため、電極の均一性と表面欠陥、その他の不完全性の有無を目視検査します。このような欠陥の存在は電極の付着性や汚染の問題があることの指標となります。

正真正銘最高の水晶振動子です

INFICONがお届けする金または銀電極付きの5 MHzまたは6 MHzタイプ水晶振動子はすべてがクリーンルームで厳格な仕様にもとづいて製造されています。プロセスの歩留まりと信頼性向上のため、水晶振動子は1個ごとに慎重に検査されます。AT-カットと平凸型設計を特徴とするINFICONの水晶振動子は、スプリアス振動モードやモードホッピングの発生を防止して蒸着速度と膜厚の誤差を最小限に押さえてくれます。

正しい水晶振動子の選択

特性改善に向けた絶間ない研究によって大幅な性能向上を実現したINFICONの水晶振動子は、お客様のプロセスに最高度の信頼性をお届けします。大部分のアプリケーションでは金電極水晶振動子の使用をお奨めしますが、スパッタリングのように熱負荷の大きなプロセスでは銀電極水晶振動子の方が良い性能を示します。後者は一般に酸化物のデポ改善という効果も持ちますが、まずは金電極水晶振動子を最初に試されるようにお奨めしています。
銀は表面に曇りを生じますので長期保存に適さないことにご注意ください。

さらに使い易くなった新型水晶振動子パッケージ

INFICONは水晶振動子を直接センサーへ装着可能な新型水晶振動子パッケージを採用して、オペレーターの作業量と汚染の危険性を減らしました。クリーンルーム内での水晶振動子パッケージの取扱いを更に容易にするため、紙とフォーム製のインサートを無くしてパッケージを積み上げて簡単に保存できるようにしました。

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