パッシブゲージコントローラ PGC201/202
メーカー名：エドワーズ株式会社
製品情報
概要
PGC201コントローラはPRGとCPGの測定原理を組み合わせることにより圧力範囲1×105〜1×10-7Paをカバーします。
PGC202コントローラはPRGとIG40 BAもしくはIG40 EXの測定または真空原理を組み合わせることにより圧力範囲1×105〜1×10-7Paをカバーします。
これらのコントローラは接続したゲージのモニタリングとコントロール機能を持ちます。
特長
- パッシブセンサの圧力範囲がPGC201で1×105〜1×10-7Pa、PGC202で1×105〜1×10-10Paのコンパクトな3チャンネル操作ユニット
- ピラニからペニングコールドカソードへの自動切換（PGC201）
- UHVセンサはベアード・アルパード測定システムのIG40BAもしくはエクストラクタ測定システムのIG40EX（PGC202）
- 測定ケーブルの長さは50mまで