パッシブゲージ ピラニ真空計センサ PRG20K
メーカー名：エドワーズ株式会社
製品情報
概要
パッシブゲージは計測部分からドライバー電子機器が完全に分離しています。
ゲージヘッドには物理的な計測に必要な部品だけのシステムが搭載され、他の全ての電子機器はコントローラに含まれています。
ピラニ真空計センサは3モデル利用できます。
PRG20K-NW16 AIはアルミニウムセンシングセルにタングステンフィラメントです。
PRG20K-DN16 CFはステンレススチールセンシングセルにタングステンフィラメントは、加圧に強いタイプです。
PRG20K-DN16 SSはステンレススチールセンシングセルにプラチナフィラメント、セラミックフィードスルーです。これは腐食性プロセスと水蒸気雰囲気に適しています。
仕様
| 圧力範囲 | 105〜5×10-2Pa |
| 精度 | 1Pa±20％ 1〜104Pa±15％ |
| 最大過圧 | 3bar(アルミ検出セル) 10bar(ステンレス検出セル) |
| 温度範囲 | |
| 運転 | 0〜+40℃ |
| 保管 | -20〜+70℃ |
| ベークアウト温度 | 80℃ |
| 放射線耐性 | 5×104Grays |